中古 CANON PLA 500 FA #163550 を販売中

製造業者
CANON
モデル
PLA 500 FA
ID: 163550
Parallel light mask aligner.
CANON PLA 500 FAは、速度、精度、柔軟性、信頼性を考慮して設計された高性能の自動マスクアライナーです。シリコン、ガラス、チタンなど様々な基板のイメージングが可能です。CANON PLA 500FAは、3Dアライメント、高解像度イメージング、高精度イメージング制御を組み合わせ、大量のフォトマスク製造プロセスを自動化する生産レベルのスループットを実現します。PLA 500 FAは、メインシャーシ、レーザースキャナー、イメージプロセッサ、4つの高解像度アライメントカメラ、アライメントリファレンステーブル、および1組の高速サーボモータなど、いくつかのコアコンポーネントで構成されています。レーザースキャナーは、基板の高解像度画像をキャプチャするために使用され、フォトマスクとターゲット基板の正確なアライメントを可能にします。4つのアライメントカメラは、基板とフォトマスクの3D画像を作成し、アライナーのコンポーネントを正確に自動的にアライメントできます。参照テーブルは、各スキャンのアライナー部品の正確な位置決めを保証します。最後に、2つの高速サーボモータは、基板とマスクの位置決めのための正確で自動化された動きを提供します。これらのコンポーネントでは、PLA 500FAには手動と自動の2つの主要な動作モードがあります。手動モードでは、ユーザーは手動で基質およびフォトマスクの位置を制御し、調節できます。このモードでは、基板とマスクのアライメントを微調整し、精密なイメージングと正確な寸法精度を実現します。自動モードでは、マシンは、ユーザーの介入なしに基板とフォトマスクを配置し、調整するために、そのアライメントカメラや他のコンポーネントを使用します。また、CANON PLA 500 FAには、スキャンサイズ、レーザー照度、マスクフォーカスなど、さまざまな設定が可能です。CANON PLA 500FAは、最高水準に設計・製造されています。レーザースキャナー、イメージプロセッサ、アライメントカメラなどの機械のコンポーネントは、信頼性と耐久性の高い材料から製造され、長期使用のための正確さと精度を保証します。その一貫した性能と高スループットにより、フォトマスクや基板イメージングに最適なオプションで、さまざまな大量生産プロセスに対応できます。
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