中古 CANON MPA 600 Super #9286630 を販売中

CANON MPA 600 Superは、精密パターニングとアライメントに使用されるマスクアライナーです。これは、優れたエッジ性を備えた高精度デバイスの生産を可能にするように設計された、完全に自動化された、次世代のプラットフォームです。CANON MPA600SUPERは、太いパターンや複雑な形状でも高解像度の画像処理を可能にする、新しいフルフィールドレンズフリーイメージングプロセスを搭載しています。これは、新しい高度なパターン認識技術と組み合わせることで、1。5 µmの再現可能な精度で非常に正確なアライメント機能を実現します。MPA-600SUPERはまた、基板の損傷を排除し、利回りを向上させる高度な非接触基板ハンドリング装置を備えています。多軸設計により、スループットと柔軟性が向上し、複雑なパターンや形状を容易にエンゲージメントし、正確にパターン化することができます。システムツールスタックは、さまざまな用途に適した幅広いテーラーリングオプションを可能にします。MPA-600 SUPERは最大600mmx500mmの基板サイズを持ち、251mmから610mmまでのさまざまなマスクフォーマットで構成することができます。このユニットは、オートフォーカス機能を内蔵した可変圧力ローディング機能を備えています。これにより、基板に正しい圧力がロードされ、光学系はプロセス全体にわたって一貫した状態が維持されます。このマシンはまた、正確なマスクアライメントのための統合マスクステージを備えています。これにより、大きなパターンや複雑なパターンを作成するのに理想的です。MPA600SUPERには、パターニングとアライメントをサポートするフルスイートのソフトウェアが装備されています。これは、高度なPCインターフェイスと自動と手動の両方のパターン機能を備えています。ユーザーフレンドリーなソフトウェアは、ツールの迅速かつ簡単な操作を可能にします。さらに、キヤノンでは、お客様のニーズに合わせてアセットをカスタマイズする様々なツールを提供しています。全体的に、CANON MPA-600 SUPERは、高解像度イメージング機能、高度な非接触基板ハンドリングモデル、ツールスタック、およびユーザーフレンドリーなソフトウェアにより、あらゆる精密パターンおよびアライメントアプリケーションのニーズに合わせて調整できる強力なマスクアライナーです。