中古 CANON MPA 600 Super #9240097 を販売中

CANON MPA 600 Superは、半導体デバイスの製造に使用される精密微細加工装置です。マスクアライナーであり、フォトレジストでコーティングされたウェーハにフォトマスクを正確に揃えて露出させるために使用されます。CANON MPA600SUPERは、光学倍率40X〜100X、精度30nm以上、4次元アライメント機能（X、 Y、 θ、 Z）を備えています。これにより、マスクアライナーは、広い視野でナノメートルの精度でフォトマスクのアライメントを実行することができます。正確なアライメントと均一な露出を確保するため、高精度ステージ、回折限界レンズ、ビーム分割、収差補正のための独自の光学ビーム開口部を装備しています。MPA-600SUPERはまた、アライメントエラーを修正し、ライン/スペースの解像度を2倍にするデジタルライン/スペースイメージング技術を利用しています。また、高強度の水銀ハロゲン化物光源を搭載しています。これにより、高精細イメージングのための高スループット露光と短い重複露光時間が可能になります。MPA 600 Superは、ウェハステージ変形制御機構を採用したウェハーマネジメントシステム、ウェハサクションメカニズム、汚染を最小限に抑える自動昇降システムなど、高度なウェハハンドリングも提供しています。このマシンはまた、反射防止ガラスや反射光センサーのような高度な安全機能を提供していますフォトマスク上の任意の材料の存在を検出します。MPA600SUPERにまた露出線量の精密な制御およびフォトマスクの過剰露出の防止を保障する自動シャットオフシステムがあります。これらの機能を組み合わせることで、MPA-600 SUPERは非常に高精度で信頼性の高い幅広い半導体デバイスを製造するための理想的なツールとなります。