中古 CANON MPA 600 Super #9179483 を販売中

CANON MPA 600 Superは、キヤノン製の高精度・高速マスクアライナーです。主にマスク検査、フォトマスク露出、光学露出加工、半導体製造の光学アライメントなどの光学加工に使用されます。CANON MPA600SUPERの基本構造は、光学積層ポジショナー、マスタースレーブ構成、照明装置、冷却システムの4つの主要部品で構成されています。4インチから12インチまでの様々なウエハサイズで使用できます。MPA-600SUPERの光学的に薄板にされたポジショナーはライト、塵、傷、および他の汚染物への露出のようなプロセスのための場所でしっかりとウェーハを握るように設計されています。半導体デバイスの製造に必要な、要求の厳しい光学リソグラフィのための正確かつ正確なアライメントが可能な光学実装ステージを備えています。デバイスのマスタースレーブ構成は、光学積層ポジショナーの動きを制御するために使用されます。フォトマスク交換作業中でも極めて正確にウェーハを見つけるように設計された高度な機械制御ユニットです。この精度により、プロセステップの精度と再現性が保証されます。キヤノンMPA-600SUPERに設置された照明機は、高性能キセノンランプとDUV重水素光源で構成されています。光源はフォトマスクの全領域にわたって均一で再現性のある露光強度を提供し、複数のレベルの解像度の複雑なリソグラフィーパターンに最適です。このデバイスには、プラズマチャンバーの温度を動作範囲内に維持するための冷却ツールも内蔵されています。これは、露出プロセス全体にわたって安定したプロセス条件を提供するのに役立ちます。全体として、MPA600SUPERはマスク検査、フォトマスク露出、フォトリソグラフィープロセスの安定したプラットフォームを提供する統合資産です。半導体製造および試験プロセスに最適なソリューションです。