中古 CANON MPA 600 Super #9057709 を販売中

CANON MPA 600 Superはプロ仕様のラインマスクアライナーです。フォトリソグラフィとウェハレベルのパッケージング技術の分野で幅広い機能を提供しています。200mmウェーハの3分の1程度のサイズで、様々なパターンや厚みのマスクに対応できます。CANON MPA600SUPERには、3軸、8ゾーン、片面光学機器が装備されており、ウェーハ上のアライメントマークとデバイス機能の正確なアライメントを提供します。このシステムの設計により、複数の焦点領域を持つ大きなフィールドスキャンが可能になり、ウェーハ上の複数のパスが不要になります。さらに、ユニットには、ウェーハ上のマスクを正確に整列させるために使用されるアライメントマーク検出器が内蔵されています。このマシンは、ハイスループット動作用に設計されており、1時間あたり最大3000個のウェーハを処理できます。このマシンは、最先端のデジタル信号プロセッサとPIDコントローラを備えており、正確で一貫したプロセス制御を保証します。さらに、特許取得済みのRFインピーダンスマッチング技術を使用して、非常に正確なアライメントを実現しています。機能面では、MPA-600SUPERは包括的なリストを提供しています。それは1 µmの自動ステップサイズを提供します；すべての区域の均一な照射のための3地帯の投射レンズ；手動アライメントを簡素化するフォーカスファインダー機能。そして微調整のための光学defocus制御調節。フォーカシングレーザーとスポットサイズの最適な強度を自動調整するオートチューニングレーザーも装備しています。さらに、ウェーハリフターを自動化し、ユーザーは簡単にウェーハを取り外し、アライメントチャンバーからロードすることができます。さらに、露出のための正確なパルス制御のための統合された紫外線ダイオードレーザーがあります。全体的に、MPA600SUPERはプロの使用のために設計されたラインマスクアライナーのトップです。最先端の技術と使いやすい機能を組み合わせ、幅広い用途で高品質で正確なウェーハやマスクの加工を可能にします。アセットの特許取得済みのRFインピーダンスマッチング技術と最先端のデジタルシグナルプロセッサを活用して、正確なアライメントと迅速で一貫した信頼性の高いパフォーマンスを提供し、高スループット動作を実現します。