中古 CANON MPA 600 Super #293606918 を販売中

CANON MPA 600 Superは、集積回路の製造に使用される高度なマスクアライナーです。高精度で幅広い素材を揃えることができます。CANON MPA600SUPERのパワフルな機能には、解像度5ナノメートルのマイクロスキャナ、複数の露光源、高精度のクローズドループ登録機器などがあります。MPA-600SUPERは完全に自動化されたマスクアライナーシステムで、金属、ポリイミド、石英などのさまざまな種類のマスク材料を整列させるために使用できます。5ナノメートル分解能の顕微鏡スキャナを使用し、マスクとウェーハの正確な位置合わせを保証します。CANON MPA-600SUPERは、ロジック、メモリ、高速プロセッサチップなど、さまざまな種類のチップの製造に使用できます。量産とプロトタイピングの両方のために設計されており、スループットは1時間あたり最大25ウェーハです。UV光源を含むマシン上で利用可能な複数の露光源により、接触、投影、およびフロント・エンドおよびバックエンド・プロセスを含む複数のタイプのリソグラフィ・アプリケーションに適しています。MPA 600 Superには、マスクとウェーハを正確に揃えるために使用されるクローズドループ登録ユニットが含まれています。登録機械は2組の光学エンコーダおよび顕微鏡の走査器と互いに相対的なマスクおよびウェーハの各位置を正確に登録するために働く線形エンコーダーで構成されます。これにより、ウェーハに対するマスクの位置が正確であることが保証され、反復可能なリソグラフィープロセスに不可欠です。CANON MPA-600 SUPERは、高度なマスクアライニング機能に加えて、露出ツール、オートフォーカス、オートキャリブレーション、自動アセットの自動修正など、さまざまな機能を提供しています。露出モデルを使用して、ウェーハを必要なパラメータに迅速かつ正確に露出させることができます。オートフォーカス装置は、露出パラメータが意図した露出に沿って継続的に保持されるようにするのに役立ちます。MPA-600 SUPERは、大量のチップを幅広く生産するために使用できます。コンパクトな設計により、研究所や生産ラインに素早く展開できるため、研究開発プロジェクトに最適です。5ナノメートル分解能、高スループット、正確なアライメントシステムにより、強力なマスクアライニングソリューションです。