中古 CANON MPA 600 Plus #9192664 を販売中

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CANON MPA 600 Plus
販売された
ID: 9192664
Aligner.
CANON MPA 600 Plusマスクアライナーは、半導体デバイス製造のニーズに合わせて特別に設計されたプロフェッショナルグレードのフォトリソグラフィーソリューションです。このツールは、高精度のアライメントとオーバーレイのための機能を備えた高速パターニングを提供します。MPA 600 Plusは、最大スループット機能と幅広い露光時間を備え、複雑な集積回路デバイスを製造するための理想的なプラットフォームを提供します。CANON MPA 600 Plusは、メインフレーム、マスクステージ、ウェハステージ、レチクルステージ、ドライブシステムから構成されています。メインフレームには、高解像度イメージングマシン、ウェハハンドリングハードウェア、ソフトウェア制御、各種出力システムなどの電子サブシステムが搭載されています。マスクステージは、レチクルステージの正確なアライメントを提供し、優れた精度のための8ノードのキャリブレーションを備えています。ウェーハステージは、可変速度動作、自動化された高さ追跡、およびツールの正確なズームを可能にします。レチクルステージは、マスクとウェーハを正確にアライメントするための超高解像度センサーを備えています。ドライブツールは、アセット内のすべてのコンポーネントに電力を供給します。MPA 600 Plusは、高解像度のイメージング機能、高度な露出管理、直感的なユーザーインターフェイスを備えています。また、自動ウェハハンドリング、高速フォーカス、自動露出制御などのオプション機能も備えています。このデバイスは、リソグラフィ、計測、堆積などの複数の操作も可能です。CANON MPA 600 Plusは、低コストのCMOS基板から超高速ガリウムヒ素まで幅広い基板に対応しています。最適なマスクアライメント、自動化されたプロセス制御、高速スループット、正確なイメージングなど、すべての機能により、MPA 600 Plusは最も複雑な集積回路の製造に対応できます。CANON MPA 600 Plusは、安全カメラ監視、安全出口、緊急停止システム、セキュアチャンバーなど、さまざまな安全プロトコルも提供しています。これにより、すべての作業が安全で安全な環境で行われ、機器がOSHA規格に準拠したままになることが保証されます。全体として、MPA 600 Plusは革新的で強力なフォトリソグラフィーシステムです。このデバイスは、スループット、精度、安全性を最大限に高めるように設計されており、最も複雑で複雑な基板設計を処理することができます。このユニットは、プロセス時間を大幅に短縮し、集積回路の精度と信頼性を高めるため、半導体デバイス製造にとって非常に貴重なツールです。
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