中古 CANON MPA 600 FA #9269099 を販売中

CANON MPA 600 FA
製造業者
CANON
モデル
MPA 600 FA
ID: 9269099
ウェーハサイズ: 6"
Mask aligners, 6".
CANON MPA 600 FAは、フォトリソグラフィープロセス用に設計された高精度で信頼性の高いマスクアライナーです。半導体業界で人気のあるデバイスで、集積回路やその他の関連電子部品の製造によく使用されています。キヤノンMPA600FAには、専門の光学機器が搭載されています。このシステムには、極端な紫外線(EUV)照明ソースと光学系が含まれており、高精度で一貫したリソグラフィーパターンを提供します。また、MPA-600FAには高精度のコンピュータ制御ステッピングモーターが搭載されており、露出プロセス中にウェーハ全体のマスクの正確なアライメントと前進を保証します。MPA-600 FAは、洗練された光学ユニットで幅広いリソグラフィーパターンを生成することができます。これは、最大1ミクロンの露光精度でサブウェーブのフィーチャーサイズを生成する能力を持っています。この高度な精度により、キヤノンMPA600-FAは従来のフォトリソグラフィ技術では不可能だった解像度とディテールのレベルで構造を作成することができます。MPA600FAには、さまざまな生産環境で高精度な露光結果を提供することができる幅広い機能があります。装置に生産プロセスの条件に適するために露出レベルを調節できる自動露出制御機械があります。また、露出時にマスクがウェーハにしっかりと揃っていることを保証するオートフォーカスツールも備えています。CANON MPA-600FAは、内蔵メモリに最大7種類のマスクを内蔵することが可能で、各プロダクションに必要な露出とマスク情報を保存することができます。CANON MPA-600 FAには、効率的で安全な生産プロセスを確保するためのさまざまなハイエンドの安全機能も含まれています。これらには、緊急時にすぐにデバイスをオフにする自動シャットオフ資産が含まれます。また、高解像度カメラを内蔵しており、露出とマスクアライメントプロセスを監視することができます。全体として、MPA 600FAは、一貫した精密な結果を提供する高度で信頼性の高いマスクアライナー装置です。半導体業界の生産要件に最適なさまざまな機能と安全機能を備えています。
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