中古 CANON MPA 600 FA #9250757 を販売中
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販売された
ID: 9250757
ウェーハサイズ: 5"
Mask aligner, 5"
Cassette type: Single
Mask size, 6"
Slit size: 1.6 mm
Main body:
Illumination system
Alignment scope
Lab unit
Mask stage
Wafer stage
Pre-alignment unit
Auto feeder
Operation panel
Lamp power supply: AC 200V
CTC Unit:
No TDC
AC 200V
Control unit:
AA1
AA2
AA3
AA4
PFD SV Drive
MPU
AS / IL / ML
Mask stage IF
Wafer stage IF (I)
Wafer stage IF (II)
VAC Switch IF
Scan stage
Panel IF
MV/ TT / AF IF
AF MPU III
AF IF2 (III)
Scan drive
DC Power supply
Accessory box 1:
(3) Hoses
Exhaust elbow
Gauge, push arm, focus knob, screws
Pre-aligner
(2) Manuals
(2) T-handlers
Glass mask
Black guide cover
Auto hand
Mask holder
Wafer disk
Accessory box 2:
Monitor / Stand
(2) Wafer chucks
Fan
(2) Cables
Camera
Camera power supply
Slit unit
Light unit-led type
Microscope head
Locking condition:
Main body locking
Lab locking
Wafer stage locking
Mask stage locking
Lens locking
Auto feeder locking.
CANON MPA 600 FAは、電子ビームリソグラフィの高度な機能を提供するキヤノンの最先端マスクアライナーです。このデバイスは、さまざまな基板に均一なパターンで高解像度のイメージングを実現することができます。電動のxyzステージを備えた高精度スキャン電子顕微鏡を備えており、開発されたマスクの各層に優れた接触アライメントと低い歪みを提供します。ソフトウェア機器には、ユーザー定義のレイアウト設計のための使いやすいインターフェースが含まれており、マスクを正確に整列させるためのさまざまなツールを提供しています。様々なフィルムやレジスト素材に対応し、高精度パターニングのため0。5 μ mまでの解像度を実現しています。また、自動チューニングウェーハステージや自動フォトスタンスモニターなど、デバイスのテストや検証にも対応しています。スクープの張力、ウェーハプローブの取り付け、レーザスクライブの参照線はすべて自動的に調整され、正確なマスクアライメントを可能にします。さらに、チャンバー内の高真空環境は、環境要因が電子ビームの光路に影響を与えることを防ぎます。このデバイスは高いスループット容量を持ち、工場のオートメーションマシンと容易に統合できます。高い歩留まり率を実現し、高スループットのリソグラフィが必要な場合に一貫した結果を提供するように設計されています。それは8インチまでのサイズの基質を収容でき、また開発プロセスの正確なステップのためのステッパーによって電動化される段階が付属しています。全体的に、CANON MPA600FAはパワフルで使いやすいマスクアライナーで、高いスループットと迅速なターンアラウンドタイムで正確なパターニングを実現します。その柔軟性と精度により、プロトタイプと大量生産の両方に最適です。
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