中古 CANON MPA 600 FA #9182978 を販売中

CANON MPA 600 FAマスクアライナーは、半導体や電子機器の製造に使用される高解像度フォトマスクを製造するために設計された全自動ステレオリソグラフィ装置です。多種多様な用途に対応したフォトマスクの迅速な加工が可能であり、高精度なマスクを製造することで、最高の生産能力を実現します。このマシンは、高度な光学機器、コンピュータ数値制御（CNC）プログラミング、および自動シーン分析を備えています。CANON MPA600FAは多軸位置決めシステムで、同期運動技術を使用して基板へのマスクアライメントを極めて精密にします。マスク製造プロセス全体がお客様の仕様に準拠していることを確認するために、各マスクが製造される前にアライメントエラー検査が行われます。マスクの配置と仕様を確認するためのビジョンアライメントユニットも装備されています。MPA-600FAは最高速度4,000アライメント/時、マスクサイズは最大200 x 200mmです。機械の整列の正確さは0。02 𝜇mであり、焦点の深さは0。2 𝜇mです。このマシンは、6インチおよび8インチのフォトマスクを処理することもできます。シンクロナイズドエアクッションステージを採用し、高速動作を実現しています。また、3次元アライメントもサポートし、正確なアライメントのためのレーザーパターン認識を備えています。MPA-600 FAには、デバイスの最高生産歩留まりを確保するために、多くの高度な機能が組み込まれています。機械には、マスク製造前後のマスク温度を測定できる熱画像センサーが内蔵されています。これにより、製造工程でマスクが歪むのを防ぎます。また、マスク欠陥の有無を検出できるリアルタイムイメージングマシンを搭載しています。MPA 600 FAはユーザーフレンドリーに設計されており、マシンのプログラミングと制御のためのユーザーフレンドリーなインターフェースが組み込まれています。このマシンは直感的なメニューとディスプレイを備え、LCDコントロールパネルも備えています。このマシンには、任意の機械の誤動作をユーザーに警告するアラームツールが装備されています。CANON MPA 600FAには、最高品質のマスクを保証するために設計された包括的なソフトウェアパッケージが付属しています。このソフトウェアを使用すると、パターン認識とアライメントルーチンの自動作成とレシピ管理の自動化が可能になります。また、ユーザーは既存のマスクのデザインを編集し、既存のマスクの統計分析を簡単に実行することができます。このソフトウェアを使用すると、ユーザーはマスクのデザインを保存、印刷、および電子メールマスクを作成できます。