中古 CANON MPA 600 FA #9144946 を販売中

CANON MPA 600 FAは、フォトリソグラフィやウェーハパターニングに使用される最先端のマスクアライナーです。このタイプのアライナーにより、半導体チップ、MEM、 LED、およびほぼすべての種類の微細加工で正確なパターンを作成できます。キヤノンMPA600FAは、320mm基板サイズ、最高光学精度、高解像度、高精度、高生産性を備えています。また、5軸モーションコントロール装置の高精度により高速化を実現しています。この機械の高精度により、製造プロセスのすべてのステップでパターンを正確に複製できます。5軸モーションコントロールシステムはまた、精度を向上させ、プロセスを調整するためのリアルタイムフィードバックを提供します。フォトリソグラフィやウェーハパターニングの画像配置精度を向上させる独自の回折光素子（DOE）技術を使用して設計されています。DOE技術は、1つのウェーハから次のウェーハまで非常に正確に複製できるパターンを作成するのに役立つ、非常に精密な光学系のセットを使用しています。MPA-600FAは、操作全体を監視するための使いやすいインターフェイスをユーザーに提供する高解像度カラーデジタル液晶モニターを持っています。さらに、迅速かつ正確な基板配置のための統合されたレーザーアライメントユニットが付属しています。このマシンを使用すると、チップパターンを1つのステップでマスクに整列させ、パターンの位置を何度も複製することができます。MPA 600 FAには、複数のパスのスキャン、波長の選択、露出の最適化など、いくつかの自動機能が付属しています。これらの機能により、パターニングの全体的な効率と精度が向上します。全体として、CANON MPA-600 FAは、高品質のマイクロパターンの微細加工を可能にし、フォトリソグラフィとウェーハパターニングのスループットと精度を向上させます。その機能は、高度なフォトリソグラフィおよびウェーハパターニング用途に最適です。