中古 CANON MPA 600 FA #9109111 を販売中

CANON MPA 600 FAは、ナノマニュファクチャリング、ナノインプリントリソグラフィ（NIL）、薄膜成膜などの用途向けの最先端マスクアライナーです。これは、業界をリードする標準で構築されており、サブミクロンレベルでの精密加工と分析が可能です。CANON MPA600FAの中心は強力な63-Watt CO2レーザーで、非常に高い露光強度と焦点の深さを生み出します。これにより、フォトレジストウエハからガラス、シリコン材料まで、さまざまな基板にマスクパターンを非常に正確に均一に露出させることができます。0。01 µmの高解像度で、電流集積回路（IC）設計のほとんどの機能と互換性があります。さらに、MPA-600FAには2つの精密制御された6軸リニアモータステージが装備されています。これらのステージにより、正確で再現性の高いポインティング精度が得られ、高速で微細な構造にアライメントを施すことができます。キヤノンの特許取得済みMAVIC/AFH （Multi-Axis Variation Control and Auto-Focus Height）技術により、このマシンはさらに強化されています。MAVIC/AFHシステムは、アダプティブセンサヘッドと計算フィードバックを内蔵することにより、モーションテーブラーの動的制御を可能にし、レイアウト設計と基板のバリエーションによるエラーを自動的に防止します。さらに、キヤノンMPA-600FAには高度な操作制御システムが搭載されており、簡単かつ効率的な操作が可能です。EtherCATネットワークを使用することで、ユーザーはプロセス制御/監視システムに簡単にアクセスでき、マシンにリモート接続された任意のコンピュータからマシンの状態と変更を監視および制御できます。スムーズな生産を確保するために、マスクアライナーには加熱された真空チャックと真空ポンプも装備されています。最後に、キヤノンサーモンはマスクアライナーに高度な温度管理機能を提供します。これにより、機械のさまざまな部品に最適な温度を維持し、露出精度を維持することができます。したがって、MPA 600 FAは、精密加工と分析のための非常に汎用性の高いツールです。業界をリードする標準と高度な機能を備えたMPA600FAは、さまざまな製造ワークショップの主力となることでしょう。