中古 CANON MPA 600 FA #9058852 を販売中

CANON MPA 600 FAは、自動フルウェーハマスクアライナーです。これは、高度な電子機器メーカーがテンプレートから基板またはデバイスの表面上にパターンを転送するために使用するツールです。アライナーは広範囲にわたって精度と精度を考慮して設計されており、最新の半導体製造に最適です。装置は、600mm （23。62インチ）の大きなリソグラフィー面積と10ナノメートル（nm）の解像度を備えています。パターン露出とアライメント精度のための248nmと248nmの高波長を備えています。特許取得済みの「自動アライメント」システムにより、基板とテンプレートをマスクステージに迅速かつ正確にアライメントできます。1）マスクステージ：このプラットフォームは、テンプレートと基板の両方をリソグラフィー領域に配置し、再現性の高い精度を確保します。その移動の範囲は300mmであり、異なった基質のサイズを収容するために調節することができます。2）照明機械：キヤノンMPA600FAの照明用具は高度の光源を使用して均一な露出のための超高い明るさを提供します。約10nmの高分解能イメージングが可能で、半導体基板の高密度パターンの製作に最適です。3）アライメントのアセット：このモデルは正確な角度のバイセクターおよびアクチュエーター装置と高度のアライメントの正確さおよび制御を提供します。ウェーハレベルのアライメントと調整を可能にし、露出精度を最大限に高めます。4） Z軸単位：Z軸単位は調節可能性の容易さのためのマスク構造の高さを維持します。また、独立したエッジコントロールと自動アライメントにより、マスク登録の可能な限り最高の精度を提供します。MPA-600FAはあらゆる先端技術の生産のための強力な用具で、高精度パターン移動を提供するように設計されています。高度な照明、アライメント、精密システム、大型リソグラフィー領域を備えたキヤノンMPA 600FAは、電子機器の高精度製造に最適です。