中古 CANON MPA 600 FA #9016131 を販売中

CANON MPA 600 FAマスクアライナーは、リソグラフィ技術を活用した製品の製造に不可欠なツールです。大量生産のために設計され、非常に精密なパターニングが可能な完全自動化されたマシンです。このデバイスは、真空チャックとレジストコーティング技術の組み合わせを利用して、さまざまな基板にマイクロパターンフィーチャーをライン、転送、開発します。この装置には、自動マスクアライメントシステムとインテリジェントビジョンユニットの両方が装備されています。アライメントマシンは、レーザー測位センサーを使用して基板上のアライメントマークを正確に特定し、マスクとレイヤー間の正確な登録を可能にします。ビジョンツールは、基板の欠陥を検出し、基板上に存在するフレームとレイヤーの数を特定し、アライメントパラメータを計算するために使用されます。キヤノンMPA600FAは、複数の基板とマスクを同時に処理できるモジュラーアセットです。マイクロメートルからミリメートルまでのサイズの様々なパターンジオメトリを処理することができます。MPA-600FAは、≤ 8µmの分解能と≤ 5µmのパターン偏差で高精度なパターンを実現することができます。堅牢なレジストコーティング技術により、最も困難なパターンでも簡単に再現できます。キヤノンMPA600-FAは、高度な光学アライメント技術を活用し、露出精度を最適化し、均一な結果を保証します。真空チャックを搭載しており、基板ローディング中に基板をしっかりと保持し、アプリケーションや露出後のプロセスに抵抗します。MPA600-FAはまた、最適な結果を得るために光学的および物理的性質を結合するために抵抗材料の広い範囲を支えます。キヤノンMPA 600FAは、大量の生産マスクを迅速に処理できるため、リソグラフィーサイクル時間を大幅に短縮できます。また、オフラインでの稼働も可能で、複数の生産作業を一度に完了することができ、より高い歩留まりを実現します。CANON MPA-600FAは、大量生産要件に最適なツールです。洗練された機能と信頼性の高い性能を兼ね備えているため、リソグラフィや微細加工の生産に最適です。このユニットは使いやすく、クローズドループ自動アライメントにより、ユーザーはオペレータ入力を最小限に抑えて正確な結果を得ることができます。信頼性が高く効率的なMPA 600FAは、リソグラフィおよび微細加工アプリケーションに最適なクラスのマスクアライナーです。