中古 CANON MPA 600 FA #293821333 を販売中

CANON MPA 600 FAは、フォトリソグラフィ半導体および集積回路製造用に設計された先進的なマスクアライナーです。研究開発アプリケーションに最適で、人間工学に基づいたユーザーコンソールを備えており、ユーザーは簡単にマシンを操作できます。主な機能として、レーザーベースの画像アライメント装置、オートフォーカス、ウェーハ露出などがあり、毎回完璧な結果が得られます。CANON MPA600FAには2つの露出ヘッドがあり、それぞれに100 Wの放電ランプが付いています。これは高い均等性、調節可能な照明および露出エネルギーの強力な露出源を提供します。露出エネルギーはシャッターシステムによって正確に制御され、ユーザーは必要な線量が達成されることを保障することを可能にします。MPA-600FAは、高度なレーザーベースの画像アライメントユニットを備えています。マスクとウェーハを最大50nmの解像度で整列させることができ、高精度の登録プロセスを保証します。このマシンには、手動またはソフトウェアを介して調整できるオートフォーカスツールも装備されており、手動操作なしで目的の焦点を達成することができます。CANON MPA600-FAは同時に複数のウェーハを露出することも可能で、シングルウェーハシステムよりも高速かつ効率的です。これは、露出プロセス中に残骸や汚染物を除去するための最高温度140°Cまでの加熱プラテンを持っています。MPA600FAには直感的なユーザーインターフェイスが付属しており、ユーザーは効率的にマシンをナビゲートすることができます。このマシンには診断アセットも内蔵されており、ユーザーはエラーをすばやく特定し、是正措置を講じることができます。さらに、このマシンは業界標準のソフトウェアと互換性があり、既存のプロセスと容易に統合できます。全体的に、CANON MPA-600FAは、高精度と高精度を必要とするフォトリソグラフィ用途に最適です。その機能の組み合わせにより、ユーザーは定期的に一貫した高品質の出力を達成することができ、クラスで最も信頼性の高いマシンの1つになります。