中古 CANON MPA 600 FA #293625511 を販売中

CANON MPA 600 FAは、半導体デバイスの製造に使用されるパターニングプロセスを実行するように設計された高性能マスクアライナー装置です。このシステムは、カットマスク登録のための自動、高速、高精度のメカニズムを備えています。このユニットは、XY軸と回転軸の両方を同時に制御する空気軸受けステージ、レーザー干渉計、クローズドループサーボ位置決めおよびアライメントの組み合わせを使用しています。CANON MPA600FA機は、高精度で再現性の高いパターンアライメントを特徴とし、ステージの垂直移動が独立しているため、プローブ、ピン、その他のパターニングツールの取り扱いが容易です。また、高解像度で高コントラストな画像処理アセットを備えており、パターン内の要素を正確に検出して測定することができます。6x F-Thetaレンズを搭載した高度な光学モデルは、高品質のイメージングを提供し、フォトマスクの正確なエッジ整列を保証します。エアベアリング取付ステージを採用し、滑らかで低振動のステージムーブメントを実現し、高精度なアライメントと印刷性能を実現しています。また、メンテナンスを容易にし、長期的な信頼性と環境の堅牢性を提供します。このシステムは、0.5µmの位置精度で、基板上のパターンの正確な配置を保証します。MPA-600FAユニットは、マスク加工、パターニング、スパッタ成膜、フォトレジストコーティング、エッチングプロセスなど、さまざまなハイエンドの自動化機能も提供しています。この機械はまた速く、正確な結果のためのパターンのずれを数秒以内にすぐに検出し、訂正できる速いAligner™の特徴を提供します。さらに、CANON MPA 600FAは、自動化され統一されたプロセス制御をサポートする幅広いソフトウェアオプションと機能を提供します。それに容易な用具のセットアップおよびプログラミングのための直観的なソフトウェアインターフェイスがあります、また容易な統合および操作を可能にする既存のソフトウェアおよびハードウェアシステムと統合することができます。CANON CANON MPA-600FAアセットは、高速で正確かつ再現性のあるフォトマスクのアライメントを実行し、安定した生産性能を実現するよう設計されています。それはいろいろ電子工学および光電子工学の適用のために適して、信頼でき、強力なマスクのアライナーのモデルソリューションです。