中古 CANON MPA 600 FA #293609496 を販売中

CANON MPA 600 FAは、半導体デバイス製造のフォトリソグラフィープロセスに使用される全自動ステッピングスキャナーアライナーです。フォトマスク上で定義されたパターンを露出したフォトレジストコーティングされたウェハに正確に揃えることができるマスクアライナーです。これは、フォトレジストで覆われたウェーハにマスクからパターンを投影し、ウェーハに画像を転送することによって行われます。CANON MPA600FAは、正確な登録とアライメントのためのインテリジェントなデュアルエリアスキャンシステムを備えており、精密な半導体デバイス製造アプリケーションに最適です。LEDベースの光源を備えており、優れた明るさを提供し、設計解像度とパターン忠実度を向上させます。内蔵の自動検査機能により、最適な位置を自動的に検出できます。このマシンの定義機能には、高いスループット、精度、および位置決め精度が含まれます。MPA-600FAには± 6 μ mのレーザーアライメント精度があり、正確なアライメント機能を提供します。さらに、ガラス、シリコンウェーハ、水晶基板など幅広い基板に対応しています。内蔵の自動検査機能により、大きな基板をスキャンしながら欠陥や小さな粒子サイズを検出できます。このシステムは、調整を必要とせずに8インチから12インチの基板を処理できます。また、CANON MPA-600FAは、レーザー干渉計による微細なアライメントを可能にするopto-mechanicalパッケージを備えており、ウェーハオーバーレイのアライメントに正確なマスクを提供します。また、デジタルネットワーキング機能を備えており、機械のリモート制御を可能にします。さらに、マスク加工および設計検証用のCADベースのデータ入力にも対応しています。機械はATE準備ができています、ATEとアライナー間の統合制御を提供します。全体として、CANON MPA600-FAは、信頼性と精度の高い半導体デバイス製造に理想的なマスクアライナーです。幅広い機能、柔軟な基板サポート、精度により、メーカーに一貫した正確な結果を提供します。