中古 CANON MPA 600 FA #293608401 を販売中

CANON MPA 600 FAは、フォトマスク機能をウェーハ上のダイ機能に正確に合わせるために使用されるフルオートマスクアライナーです。高密度パッケージやディスプレイなどの集積回路、MEMS、光学デバイス、3Dデバイスの製造に特化して設計されています。CANON MPA600FAは、25ナノメートルまでのパターンの高解像度イメージングを可能にする没入光学機器に基づいています。ウェーハやマスクの位置決めに高精度なアライメントステージを採用し、高精度なアライメント精度を保証します。MPA-600FAには、ウェーハとマスクの両方にオートフォーカスが内蔵されており、アライナーの設定に要する作業時間を最小限に抑えます。MPA 600FAには、パターンオーバーレイ編集機能と3D補正プロセスを可能にするステッパーが内蔵されています。これにより、露光時間が長い場合でも高い登録精度が保証され、業界標準の1：1の登録精度で25ナノメートルまでのパターンの精度アライメントが可能です。また、信頼性の高いpxを提供します。フィデリティマップパターン検出機能により、アライメント精度シフトと参照格子間のシフトを検出し、さらなる補正を行うことができます。MPA600-FAには、ウエハウエハウエハウエハウエハウエハウエハウエハウエハウエハウエハウエハウエハウエハウエハウエハウエハウエハウエハウエハウエハウエハ。MPA600FAは、4〜40マイクロ秒の露光時間をサポートするLED画像生成システムを備えています。これにより、マイクロデバイスからナノレベルのデバイス製造まで、ほとんどのプロセスに適しています。CANON MPA600-FAでは、フォトマスクパターンを目的の基板に移すための照明や基板処理も充実しています。これにより、デバイスのパターンと精度の長期的な一貫性が可能になります。CANON MPA-600FAは、ウェーハとマスクの両方の機能を測定し、デバイスが望ましいキャリブレーションであることを確認するウェーハメトロジー機能も備えています。マスク上の2次元パターンを光源で読み取ることができる高解像度イメージングマシンを搭載しています。この技術により、マスクパターンを正確にイメージングすることができ、フォトマスクパターンとデバイス機能の不一致が少なくなります。CANON MPA 600FAは、ナノメートルレンジで精度の高い高精度デバイスの製造に最適です。このツールは、高度なアライメントステージ、統合されたオートフォーカス、パターンオーバーレイ編集、および画像補正技術を備えた生産設定で使用するために設計されています。これは信頼性が高く、正確であり、デバイスのパターンと精度の長期的な一貫性を提供します。