中古 CANON MPA 600 FA #190737 を販売中

CANON MPA 600 FAは、最高品質の集積回路（IC）を製造するために使用される自動マスクアライナーです。高精度な装置により、高い精度と再現性を実現しています。6インチスリットフィールドプロジェクションアライナー、長寿命イオンビームソース、高解像度フォトターゲットを備えています。CANON MPA600FAは、リソグラフィーマスクとターゲット基板の高精度、再現性、高精度なアライメントを可能にするスリット・フィールド・プロジェクション・アライナーを備えています。これにより、印刷プロセス中に可能な限り最高のレジスタ精度と忠実度が保証されます。このシステムはまた、200mm IC製造プロセスでクリーンで信頼性の高いリソグラフィを可能にする長寿命の電子ビーム源を備えています。MPA-600FAはまた、優れた精度と再現性でアライメントパラメータを測定するためにフォトターゲットを組み込んでいます。電子ビームリソグラフィーユニットは非常に高速で動作し、最大110 µmまでのプロセストラックと最大0.1µmのマスク配置精度を可能にします。ユニットはまた、簡単なセットアップ、アラインメント、メンテナンスのための統合された光学ビデオマシンを持っています。CANON MPA 600FAは、4種類のマスクウエハアラインメントを4つまで保存できるプログラムなど、ユーザーフレンドリーな機能を備えています。このツールには高度なデータ処理機能も搭載されており、プロセスのパフォーマンスをリアルタイムで測定することができます。また、統計レビューグラフを内蔵しているため、最高レベルのプロセス制御を必要とするFABに対して迅速なデータ分析と微調整が可能です。全体として、MPA 600 FAは、極めて高精度なIC生産能力を備えたリソグラフィ生産のリーダーとして認められています。長寿命イオンビーム源、高分解能フォトターゲット、アライメントの速度と精度により、半導体産業における再現性の高い集積回路生産のリーダーとなります。