中古 CANON MPA-600/500 #293606556 を販売中

キヤノンMPA-600/500露光装置は、様々なフォトリソグラフィープロセス用に設計された高性能で信頼性の高い露光システムです。ユニットは、高度な複数の露出ヘッド、露出コントローラ、高精度の機械ステージと真空テーブルで構成されています。露出ヘッドには、2つのランプシャッター、正確に制御された調整可能なバッフルプレート、および一度に1つの露出だけを保証するシャッターインターロック機が装備されています。露出コントローラは、ツールの最も重要なコンポーネントです。ユーザーコマンドを取り込み、露出プロセスを制御します。それは位置、露出時間、エネルギーレベルおよび多数の露出の重複を調節できます。また、制限外の条件を検出し、特別な操作機能を可能にします。露出コントローラは、特定の事前定義された基準が満たされていない場合に露出を停止する自動安全装置を備えています。精密力学ステージは、ウェーハの正確な位置決めを提供し、露出プロセス中に確実に所定の位置に保持されるように設計されています。ステージでは、リニアエンコーダとロータリーエンコーダを使用して、位置を正確に測定および制御します。また、複数の露出軸オフセットを可能にするようにプログラムすることもできます。露出コントローラーの上にある真空テーブルは、露出プロセス中にウェーハをしっかりと固定して確実に配置する責任があります。また、ウェーハ表面全体に均一な露出を適用することもできます。テーブルは温度制御され、真空は堅く、空気および湿気が露出プロセスと干渉しないことを保障します。MPA-600/500 Exposure Assetは、大型ウエハーの正確な露出を必要とするフォトリソグラフィープロセスに最適なソリューションです。先進的なコンポーネントを組み合わせることで、現在の業界標準に沿った正確な露出が保証されます。このモデルは、世界有数の半導体メーカーによって徹底的にテストされ、信頼されています。