中古 CANON MPA 500FA #9226337 を販売中

CANON MPA 500FA Mask Alignerは、最高の精度と一貫性を備えた最高のマイクロストラクチャーを製造するために設計された精密ツールです。これは、フォトリソグラフィや画像転送などのリソグラフィーパターンをウェーハに転送する重要なプロセスを容易にします。このツールは、半導体、オプトエレクトロニクス、マイクロエレクトロニクス、マイクロ流体、バイオメディカルなど、さまざまな産業に適しています。精密5軸モーションシステムを搭載し、高速かつ正確な性能を発揮します。標準ワーキングエリアは500mm×500mmで、さらに1500mmまで拡張することができます。CANON MPA-500FAは、自動負荷/アンロード、自動整列、高速整列などの高度な生産性機能を提供します。さらに、直感的な制御システムと、ツールレスステッパーとスキャンレーザーアライメントを備えています。このツールは、統合されたユーザーフレンドリーなインターフェイスを介して自動セットアップ操作を提供します。また、最適化されたイメージングとフルサークルデジタルマスク検査機能をサポートする内蔵カメラを備えています。さらに、MPA 500 FAには、イメージコントラストを向上させる専用の基板反射防止コーティングシステムが装備されています。機械の他の特徴は光学および電子ビームのタイプのようなさまざまなリソグラフィのフォーマットとの両立性を含んでいる。また、パラメータバリエーションに対応した最適な露出最適化コントロール、リアルタイムのオートフォーカス機能、マルチイメージ比較機能も搭載しています。また、高速スキャンマスクを搭載し、精度を損なうことなく素早い露出を可能にします。全体として、CANON MPA 500 FAは、最高の精度と一貫性を備えた最高品質の高解像度マイクロストラクチャーを生成するように設計された、高度で使いやすいツールです。これは、優れた結果を確保しながら、基板処理時間を大幅に削減するのに役立ちます。