中古 CANON MPA 500FA #9226335 を販売中

CANON MPA 500FAは、フォトリソグラフィ用途に特化した先進的なマスクアライナーです。半導体ウェーハ製造工程で使用され、材料の堆積やエッチング、ウェーハ上の複雑なパターンの作成、その他のマイクロエレクトロニクス用途に使用されます。最大出力は175W、最大感度は9。0 μ mです。CANON MPA-500FAには、True Focus Scanning LensやField Alignment Featureなどの高度な精密部品が搭載されています。True Focusスキャンレンズは、ビームのパワーを最大化し、回折を低減するように設計されたオートフォーカススキャンレンズです。フィールドアライメントフィーチャーは、ウェーハの動きに関係なくレンズがウェーハと整列していることを保証し、ウェーハ全体でより一貫した露出を提供します。MPA 500 FAは、完全に自動化された多軸マスクアライメント装置も備えています。これは、さまざまなサイズや形状のパターンに露出を自動的に揃えることができる統合された自動露出機能を備えています。この機能により、手作業による時間のかかる調整が不要になります。CANON MPA 500 FAには、AEC （Automatic Exposure Control）を搭載した高度な投影システムがあります。このユニットは、パターンエッジと投影領域全体に応じて、ビームの露出と焦点を調整します。また、オンボードイメージ処理とパターンアライメント機能も備えています。MPA-500FAに露出時間を減らし、スループットを高める高速ビーム偏向機械があります。また、ウェーハの上下両面を同時に処理することも可能です。MPA 500FAには、全体的な障害保護ツールも内蔵されています。資産をリアルタイムで監視し、故障時にオペレータに警告して機器の損傷を防ぎます。全体として、CANON MPA 500FAは、半導体ウェーハのパターンを正確かつ迅速に作成する必要がある方に最適です。高速かつ高精度なマスクアライメントが可能で、自動化された機能により操作が容易になります。