中古 CANON MPA 500FA #9226333 を販売中

CANON MPA 500FAは、半導体デバイス製造の量産用マスクアライナーです。これは、高レベルのプロセス精度とスループットを提供するように設計された完全に自動化された機器です。キヤノンMPA-500FAは、キセノンランプを用いた4点露光システムをベースに設計されています。露光ユニットは、均一な照明のための2つのルビー強化石英ハロゲンランプと高速アライメントのための2つの電動光学脱離システムを使用しています。このマシンは1バッチにつき最大5個の1x1または4個の4x4ウェーハを処理することができ、高速回転用のインデクサと10秒間のリセット時間を備えています。MPA 500 FAは、高速パターン認識ツールとナノスケールオーバーレイでウェーハをアライメントするための画像処理アルゴリズムを備えています。ウェーハアライメントは、デジタルシャドウマスクプロセッサを搭載したリニアCCDアレイをスキャンすることで実現します。このプロセッサは、アライメントマークの検出と認識を担当し、各ウェハの構造の微細な変化を補正することができます。また、MPA-500FAには8ポジションオートフォーカスアセットを搭載し、オーバーレイ測定の精度を高めています。CANON MPA 500 FAは、85nm波長で最大0。53ミクロンの優れたオーバーレイ精度を提供し、再現可能な露出特性を生成する自動プロセス制御モデルを備えています。この装置は、接触、投影、スキャン電子ビームリソグラフィなど、さまざまなプロセスをサポートしています。スキャナプレートを使用すると、プロセスごとに最大10層の透明フィルムまたはプレートを使用できます。MPA 500FAは、ほとんどの標準露光材料と互換性があり、105°Cまでの温度で実行できます。CANON MPA 500FAは、半導体デバイスを大量生産するための経済的なソリューションであり、既存の生産システムと容易に統合することができます。このシステムは効率的で信頼性の高いパフォーマンスを提供し、デバイス製造の特定の要件に合わせてカスタマイズできます。直感的なユーザーインターフェイスと強力な機能により、高精度の光学部品の製造に最適です。