中古 CANON MPA 500FA #9226311 を販売中

CANON MPA 500FAは、さまざまな基板上で高精度なリソグラフィを行うために設計された最先端のマスクアライナーです。この装置は、平面内アライメント技術、高速28nmステップ分解能、ウェーハ厚の測定システムなど、いくつかのユニークな機能を利用しています。CANON MPA-500FAの主成分は、マスクの位置と向きを調整するアライナープレートです。プレートは平面内アライメント技術で設計されており、優れたアライメント精度と短いアライメント時間を可能にします。プレートは4つのプリズム形状のポストを使用して、ウェーハチャンバー内の正確な位置決めを保証します。マスクを2つのポストの間に配置する精度を高めるために、センタリングノブが用意されています。MPA 500 FAには、基板の正確な厚さを測定するためのウェハ厚センサも含まれています。センサーはアライナー板に取り付けられており、画像の明瞭さに影響を与える基板内の不規則性を正確に補正するために使用できます。さらに、ユニットには、マスクアライメントの調整を可能にする登録補正モードと2点登録モードが内蔵されています。MPA 500FAには、高速28nmステップ分解能と高効率レーザパターニングモジュールを備えた高度なリソグラフィーマシンも含まれています。高度なリソグラフィーツールには、高精度のベクトル発生器と、従来のリソグラフィーシステムで実現可能なよりスムーズな画像で小さな構造を生成するための波面認識アセットが装備されています。CANON MPA 500 FAは、ユーザーのニーズに合わせてカスタマイズ可能な様々な光学システムを備えています。これらには、接触または近接暴露に使用できる反射光と透過光の両方が含まれます。これらの光学系は、優れた精度、解像度、忠実度の画像を生成するように設計されています。MPA-500FAはまた精密で、信頼できるステップを提供する高精度の小型ステッピングモーターおよび変速機を含んでいます。ステップ画像はオプションの顕微鏡で見ることができ、視野が広がります。このモデルには、複数のレイヤー間で正確に登録するためのコンピュータ支援アライメント装置も付属しています。CANON MPA 500FAは、高精度なリソグラフィ、平面内アライメント技術、ウェハ厚の測定システム、ユーザーのニーズをカスタマイズするためのさまざまな光学系を組み合わせた高度なマスクアライナーをユーザーに提供します。このユニットは、半導体デバイスやナノファブリケーション部品の高解像度画像の作成に最適です。