中古 CANON MPA 500FA #293821331 を販売中

CANON MPA 500FAは、高度で大量のフォトマスク製造、研究開発、イメージング用途に適した高性能マルチガスマスクアライナーです。その主な特徴は、50mm x 50mmから500mm x 500mmのユーザー選択可能なレイアウトサイズ、最大ウエハサイズは200mm、複雑なオブジェクトの3次元登録、オートフォーカスフレームの登録により、アライメント精度を向上させます。また、より大きな領域の迅速な構成のためのパターングラバーと、より高速なスループットのための自動サンプル変更メカニズムを備えています。高精度の多軸ステージにより、フィーチャーピッチ、オーバーレイ精度、プルバック精度を同時に制御できます。1。5〜μ mピクセルサイズに対応し、同一フレームで1500ウェーハ/時間の高スループットを実現します。さらに、高精度なステージアライメントを提供し、1 µm以内の再現性と0。3 µm以内のリファレンスフレーム登録精度を保証します。CANON MPA-500FAは、粒子の劣化を低減し、清潔度を高めるように設計されています。これは、基板とフォトマスク部品を互いに分離する自己支持プロファイル設計によって実現されます。さらに、パターンスキャナの浸漬液中のマイクロバブルは、パターンの完全性を維持し、スキャン結果の潜在的な歪みを低減します。MPA 500 FAは、キヤノン独自のCANON GIM （Gene Image Metrology）ソフトウェアを使用して、アライメント精度、スループット速度、測定精度を向上させる独自のソフトウェアアーキテクチャを提供します。このソフトウェアは、何百もの欠陥を監視し、登録のための強力なパターン認識機能を提供する組み込みの包括的な画像処理ライブラリを備えています。全体として、MPA 500FAマスクアライナーはウェハスケールの生産および開発プロジェクト向けに設計されており、優れた精度のアライメント精度、より高いスループット速度、より良い測定精度を提供します。これにより、高度で大量のフォトマスク生産および研究開発アプリケーションに理想的な選択肢となります。