中古 CANON MPA 500FA #293592856 を販売中

製造業者
CANON
モデル
MPA 500FA
ID: 293592856
ウェーハサイズ: 5"
ヴィンテージ: 1995
Aligner, 5" Control box CTC Unit (2) Accessories packing Lamp power supply 1995 vintage.
CANON MPA 500FAは、半導体デバイス処理用に設計された次世代マスクアライナーです。研究開発や工業生産に適した汎用性と信頼性の高いツールです。キヤノンMPA-500FAには、正確なアライメントと露出パラメータを保証する自動装置があります。MPA 500 FAは、最大µmの分解能、最大0.1µmのアライメント精度を実現するように設計されています。最大4 「× 4」の広い視野を備え、より大きなサイズのウェーハを正確に配置できます。マスクとウェーハ間の正確な距離を正確に調整できる6軸加工顕微鏡を搭載しています。CANON MPA 500 FAには、ステージを完全にリロードすることなく、マスクの微細な位置合わせを素早く調整できるラピッドアライメントモードも搭載しています。これにより、精度アライメントに必要な時間を短縮することで、スループットが大幅に向上します。また、リモートアジャストコントロールを備えており、アライメントパラメータの制御をリモートで維持できます。MPA-500FAは、タッチパネルインターフェイスを備えたシンプルで堅牢な制御システムで設計されています。統合されたモニターにより、オペレータはアライメントプロセスを密接に監視できるため、正確なガイドラインを簡単に維持できます。自己診断ユニットはまた、修正が迅速かつ正確に行われることを保証するのに役立ちます。MPA 500FAには、手動、半自動、または自動化された操作を可能にする高度なイメージングシステムも装備されています。高解像度のイメージングシステムを備えており、アライメントと露光パラメータの両方に対応しています。また、WADIイメージングマシンにより、高精度なイメージングが可能です。CANON MPA 500FAは、予期しない事故から人員や機器を保護するための統合安全ツールで設計されています。排気アセットを改良し、副産物を排出しない環境を確保し、人員の安全を確保する設計となっています。最後に、CANON MPA-500FAは省電力、低消費電力を目指して設計されています。また、コンパクトなデザインで、ほぼすべての環境に配置することができます。これにより、精度と利便性を必要とするあらゆるアプリケーションに理想的なオプションとなります。
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