中古 CANON MPA 500FA #293592855 を販売中
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ID: 293592855
ウェーハサイズ: 5"
ヴィンテージ: 1982
Aligner, 5"
(2) Accessories packing
Lamp power supply
Missing parts:
CTR Box
Conversion kit
Generator
Air press unit
1982 vintage.
CANON MPA 500FA Mask Alignerは、ステンシル（またはマスク）から割り当てられた基板への微細なパターンの転送を正確に管理するために使用されるデバイスです。これは、マイクロエレクトロニクス部品およびデバイスの製造、ならびにフォトニックおよびマイクロ機械構造の製造において不可欠な機器です。CANON MPA-500FAは、固定および可変ステップサイズ、およびXYおよびXY Θアライメントの両方を備えた高速で高精度のマスクアライメントを提供します。また、特許取得済みのAuto AlignおよびAuto MOVE機能も組み込まれており、迅速かつ信頼性の高いアライメントが可能です。MPA 500 FAは、充電結合デバイス（CCD）を使用して、アライメント精度を向上させます。また、設計された先進的な冷却システムを備えており、サーマルドリフトを低減し、手動ステップのプリアライメントを必要とします。それはマスキング表面の粒子の汚染を減らす高度のろ過およびflowspurの除去機能と設計されています。MPA-500FAは、15mm×15mmのストロークを持つ敏感なウェーハステージと、PSDを使用した+/-0.02µmの信頼できる距離測定システム（DMS）を備えています。ステージ速度は50mm/s、パターンサイズは1mm〜20mmで、最小パターンステップサイズは0。05mmで、ステージ全体の精度とマスクアライニングプロセスを向上させます。さらにキヤノンMPA 500 FAには様々なアライメントモードが搭載されており、細かいパターンや細かいパターン、さらには超微細なパターンにも対応しています。また、ダイレクトデュアル・ディスタンス（D2D）、デュアル・エクスポージャー（DE）、シングル・エクスポージャー（SE）など、多数のエクスポージャー・モードも提供しています。MPA 500FAは、デザインパターンを忠実に転送して再現するための効果的で機敏なアライメントを提供します。信頼性が高く、効率的で費用対効果が高いため、大規模で低コストのナノスケールおよびミクロンスケールのデバイスの製造に最適です。
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