中古 CANON MPA 500 #9275353 を販売中

CANON MPA 500マスクアライナーは、精密マイクロエレクトロニクス部品の製造に使用される工業用グレードのリソグラフィ装置です。これは、利用可能な最も正確で汎用性の高いマスクアライナーであり、最高の達成可能な解像度、精度、および性能を提供します。MPA 500には、高度なマルチポイントアライメント検出システムが装備されており、ウェーハ上のマスクの最適な位置決めを保証するために、幅広い高精度測定ツールを備えています。このユニットは、最大直径8インチのウェーハと最大2つの異なるマスクサイズをサポートできます。CANON MPA 500は、大型マスクを取り扱う場合でも、マスクをしっかりと握ることができる高効率な真空機能を備えています。このマシンは、ウェーハ上にマスクを正確に配置するための組み込みレーザーアライメント機能を備えています。高精度なアライメント機能に加えて、MPA 500は高解像度のUV露出と高速なマスク開発も可能です。CANON MPA 500はオーバーレイ公差の精密な調整が可能で、要求の厳しいマイクロエレクトロニクス用途に適しています。MPA 500の高度な設計は、露出パラメータを正確に制御し、正確な露出パラメータを容易に達成することができます。また、完全な均質なバーストステージ制御、正確な最大露光タイマー、および正確なアライメントのためのマルチポイントスキャンツールなど、精密で正確なプロセス制御のための多くの関連機能を備えています。さらに、ガラスの融合、熱イメージング、シリコンへのエッチングなど、幅広いプロセス材料との互換性を提供します。CANON MPA 500は、高度な欠陥検査機能も備えています。その欠陥リストには1000以上の事前定義された欠陥フラグが含まれており、ユーザーのニーズに合わせて幅広くカスタマイズできます。このモデルには、ウェハウェブ解析モジュールとウェハ上の欠陥を検出および識別するアライメント装置も含まれています。マウントされた状態とマウントされていない状態の両方で欠陥を分析できます。安全面では、キーロックシステム、帯電防止カーテン、光・圧力センサー、発煙フィルターユニットなど、さまざまな安全機能を備えています。また、ダストフィルター、地上障害遮断器、パルスセンサーなど、機器の損傷リスクを低減するさまざまなコンポーネントも含まれています。全体として、CANON MPA 500は、マイクロエレクトロニクスのアプリケーションに最適な結果を提供する能力において比類のないものです。