中古 CANON MPA 500 #293625655 を販売中

CANON MPA 500マスクアライナーは、サブミクロンの機能サイズを持つ高精度の集積回路やその他の光電子デバイスを製造することを可能にする高度なリソグラフィーツールです。この装置は、ウェーハ上のフォトマスクを従来の光学リソグラフィの限界をはるかに下回る精度で位置決めできる、非常に精密な6軸ロボットアームを備えています。また、検査、精密アライメント、登録、プロファイル補正など、幅広い機能を備えています。MPA 500は、高性能の集積回路を製造するためのリソグラフィープロセスのための半導体業界によって規定された厳しい許容差に対応するように設計されています。このユニットは、ウェーハ面へのフォトマスクの位置決めとアライメントにおいて+/-10ミクロンの精度を備えています。この高い精度は、マシンがアライメント用にデュアルレーザービームを使用することによって達成されます。これにより、フォトマスクのすべての機能が可能な限り最高の精度でウェーハ面に正確に配置されます。このツールはまた、迅速なマスク変更のために設計されているため、アラインメントを迅速かつ簡単に完了できます。これは、大規模なバッチプロセスがしばしば必要とされる製造環境において重要です。アセットには、すべての画像が正確であることを保証するために使用される高品質のデジタルカメラモデルも含まれています。これにより、すべての製造手順がエラーなく実行されます。CANON MPA 500は、幅広いフォトマスクサイズに対応できるため、高い柔軟性を備えています。この機器は、紫外線、可視光、近赤外線など、さまざまなフォトレジストタイプとも互換性があります。これにより、システムはさまざまな目的で使用できるようになります。MPA 500は製造能力に加えて、多数のデータ管理および分析機能も提供しています。これには、ユニットのパフォーマンスを監視し、画像処理やアライメントなどのタスクを自動化するために使用できるさまざまなソフトウェアパッケージが含まれます。これにより、生産プロセスを合理化し、効率を大幅に向上させることができます。全体として、CANON MPA 500は半導体業界の要求に応えるために特別に設計された先進的なマスクアライナーです。高精度なアライメントと包括的な機能により、高品質の集積回路とオプトエレクトロニクスデバイスを製造する企業に最適なソリューションです。