中古 CANON MPA 500 Fab #9373199 を販売中

CANON MPA 500 Fabは、高精度かつ高精度なフォトリソグラフィープロセスを実現するマスクアライナーです。最先端の光学アライメント技術を特長とし、アライメント時間8秒で20 µmの位置精度を実現します。デジタル信号処理技術により、X軸方向とY軸方向で0。5 µmの再現性で究極のアライメント精度を実現します。この装置には、最悪の場合には+/-3 µmでチップからチップのアライメント精度を達成するための高度なマルチレンズイメージングシステムと顕微鏡の目的が装備されています。マスク画像の歪みを最小限に抑え、マスクとチップの間で異なる回転露出構成を可能にし、均等に分散された露出再現性を実現します。また、露出後のアライメントをリセットすることで、マスクパターンの異常を引き起こす可能性のある累積エラーを最小限に抑えるように設計されています。CANON MPA 500FABは、最大20個のプログラム可能な露出パラメータと露出期間を可能にする露出データベースを内蔵しており、高いスループットと再現可能なアライメント結果を提供します。そのユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスは即座にフィードバックを提供し、アライメントプロセスの高速プログラミングを可能にします。このマシンは、オフラインアライメントとオフ軸照明ツールを備えており、ダイツダイまたはノンスルーホール装置アラインメントを備えています。それは容易な操作のための大きい表示そして人間工学的のパネルと来ます。このアセットには、最大10枚の写真と60枚のアラインメントを保存するための標準的な不揮発性メモリを組み込んだマイクロコントローラが含まれています。MPA-500FABは、25mmから200mmまで幅広いウェーハサイズに対応しています。このモデルは、集塵管理装置を備えたモダンで洗練されたデザインに囲まれています。全体的に、CANON MPA-500FABは、優れた性能と精度でフォトリソグラフィープロセスのための信頼性が高く、使いやすく、直感的なソリューションです。それは現代のチップ産業の挑戦的な要求を満たす汎用性、速度および効率を提供します。