中古 CANON MPA 500 Fab #9305193 を販売中

CANON MP 500 Fabは、半導体製造、フォトリソグラフィ、LED製造などの用途に使用される最先端のマスクアライナーです。高度なハードウェアおよびソフトウェアシステムを使用して設計されており、処理時間を短縮して正確なアライメント、精度、信頼性を保証します。このシステムは、最先端のテクノロジーノードや次世代半導体デバイスに最適です。あらゆる角度向きの自動ステージ、より大きなウェーハに対応できる広い作業スペース、露光時間を短縮する優れた照明器を備えています。また、プロセスの柔軟性と清潔性を高めるためのオープンスペース設計も備えています。使いやすさと低コストにより、CANON MP 500 Fabは高度なテクノロジーノードに最適です。このマシンは直感的に設計されたオペレータのコンソールと、アクセスしやすいユーザーフレンドリーなインターフェースを備えています。また、インタラクティブなLCDタッチスクリーンコントロール、リアルタイムグラフィックスディスプレイ、および二軸制御を提供し、アライメント操作を容易にします。さらに、バッチ、遅延、ステップインターロックモードなどの複数のジョブ制御オプションを提供して、さまざまな生産実行に対応します。CANON MP 500 Fabは、より正確なアライメントと露出精度を実現するため、全自動ステージコントロールを採用しています。このシステムは、表面欠陥を検出するためのほぼ表面診断と、ウェーハ座標配置を100万分の1まで正確に設定および制御するLWD （Linewidth Adjustment Drive）システムも提供します。機械の堅牢な設計により、偽トリガーを最小限に抑え、さまざまなアプリケーションで一貫して信頼性の高いパフォーマンスを保証します。CANON MP 500 Fabは、最大分解能が2 mで、光線量の精度が 0。7％ に優れています。そのターミナルステーションは、光強度を調整し、シャッタータイムを自動的にトリガすることができ、スキャン速度は非常に高いです。このマシンは、プロセスリンクを強化するための複数のプログラミングおよび基板処理システムとも互換性があります。さらに、内蔵の6軸モータは、画像転送プロセスにおいて迅速なサイクルタイムを提供することができます。全体的に、CANON MP 500 Fabは、高度な機能、高精度、信頼性、高速性により、幅広い半導体およびフォトリソグラフィ用途に最適です。最小限のリードタイムで、高度なテクノロジーノード向けの柔軟で低コストなソリューションをユーザーに提供します。