中古 CANON MPA 500 Fab #9291905 を販売中

製造業者
CANON
モデル
MPA 500 Fab
ID: 9291905
Mask aligners Does not include: Illuminators Control boxes Power supplies.
CANON MPA 500 Fabは、チップ製造およびナノテクノロジー業界で使用されるフォトリソグラフィープロセスに使用されるマスクアライナーです。CANON MPA 500FABは、スケーラブルなマルチプロジェクションアライナー技術をベースに、1ミクロンの解像度を持ち、チップサイズを最大6インチウェーハまでカバーできます。高精度のリニアガイドシステムと熱膨張を低減する真空センターアライメント技術により、ユーザーの精度を向上させる再設計されたアライメント装置を備えています。このデバイスは、X軸とY軸の両方で0。1〜0。2ミクロンの範囲で2Dアライメント精度を達成することができるデバイスで、優れた精度の範囲を誇っています。MPA-500FABは、チップ表面にパターンを投影するために複数の光源を持つUV露出技術を使用しています。また、最適化された投影ユニットを備えており、オートフォーカス容量とレーザーアライメントをサポートすることで、アライメント精度を向上させ、画像の適切なアライメントにかかる時間を短縮します。さらに、このデバイスには強力なモータードライブマシンが搭載されており、ナノテク生産プロセスのさらなる精度と再現性を実現します。このデバイスは、アライメントプロセスのリアルタイムのオンラインモニタリング、印刷およびマスキングプロセスの高精度を可能にする露出制御機能などの機能でさらに強化されています。また、より高いスループットと望ましい製品製造プロセスとの互換性の可能性を高めるために、適応可能な光源出力を備えています。キヤノンMPA-500FABは、幅広い高精度ナノテク生産プロセスに対応するために設計されています。高精度なアライメント精度、高度な技術、適応可能な出力により、最高レベルの精度と出力を必要とする量産プロセスに最適なソリューションです。
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