中古 CANON MPA 500 Fab #9214610 を販売中

CANON MPA 500 Fabは、フォトマスクの正確な配置とアライメントを可能にする高度な技術を活用した全自動マスクアライナーです。CANON MPA 500FABは、アライメントエラーを最小限に抑え、ハイエンドフラットパネルディスプレイや半導体プロセスで使用されるフォトマスクの製造に最適です。このマシンは、光学分解能の高い精密アラインメントを含むフォトマスクパターンの高速かつ高精度なアラインメントを提供します。MPA-500FABは、パターンの精密なアライメントのための4フィールドステッピングモーターを内蔵しています。モータは、1µmの特徴サイズで高速かつ正確なパターンアライメントを提供します。ファインセグメントモジュレーションにより、さらに最適化された機能サイズが1µm未満になります。アライメント精度は0.5µmよりも低く、独自の自動アライメント装置によって強化されています。MPA 500 Fabは、調整可能なビーム電流で優れたパターン配置精度とパターンのトレース精度、および露出の優れた均質性を提供します。石英やシリコンなどのほとんどの回折基板のパターン配置やアライメントに使用でき、幅広い用途に最適です。画像解析システムを使用して、整列パターンを自動的に検出して測定することもできます。これにより、ロングランで最高のパフォーマンスと再現性が保証されます。CANON MPA 500-FABには、データ入力とパターン取得を可能にするコンピュータインターフェースが含まれています。これにより、ユーザーは任意のジョブのパターンのシーケンスを作成し、使いやすいプログラムを使用してそれらを制御することができます。コンピュータはまた、パターンアラインメントを編集して作成するための直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを提供し、マシンの設定とパラメータをカスタマイズします。MPA 500-FABはまた、優れた暗いフィールドと明るいフィールドのイメージングと精度を提供するだけでなく、紫外線から赤外波長まで幅広い光を生成することができる組み込みのハロゲンランプを提供しています。この機械は調節可能な作動距離、レーザーのオートフォーカスおよび自動集中を提供する光学単位が装備することができます。全体的に、キヤノンMPA-500FABは、高品質で正確なパターンアライメントを生成することができる包括的でユーザーフレンドリーなマスクアライナーです。高精度レーザーアライメントマシン、調整可能なパラメータ、広範囲のイメージングメカニズムにより、MPA 500FABはあらゆる作業を効率的に処理し、ユーザーのニーズを容易に満たします。