中古 CANON MPA 500 Fab #293820815 を販売中

CANON MPA 500 Fabはフォトリソグラフィに使用される最先端のマスクアライナーです。フォトレジストコーティング、パターンマスクのアライメント、フォトリソグラフィープロセスにより、半導体回路部品の高速プロトタイピングを可能にする精密ツールです。このツールは、パターンをナノメートルの精度でウェーハに投影することができます。CANON MPA 500FABは、Variable-Spray-Circle （VSC）コーティング技術を採用しており、高品質なフォトレジストコーティングを高均一性と低欠損率で実現しています。このコーティング技術により、幅広いマスク形状とサイズのパターンマスクの高解像度アライメントも可能になります。赤外線レーザーを用いてパターンマスクの位置を検出し、フォトリソグラフィ工程でナノメートルレベルの精度を確保する独自の3次元（3D）アライメントシステムを搭載しています。MPA-500FABには、安全シャッター、内蔵安全インターロック、オゾン除去マスクドッキングユニットなど、いくつかの安全メカニズムも組み込まれています。さらに、機械は人間の介入を最小限に抑え、ヒューマンエラーの可能性を排除するように設計されています。MPA 500-FABには、1：1から16：1までのさまざまなマスクサイズとアスペクト比を処理する能力があります。また、ネガティブフォトレジストやポジティブフォトレジスト、単層レジストや多層レジストなど、複数のフォトレジスト素材に対応しています。このツールはまた、パターンマスクされたウェーハの垂直方向および水平方向のアライメントモードをサポートする機能を備えています。CANON MPA 500-FABは、半導体デバイス製造プロセスやシリコンウェーハパターニングなど、さまざまな用途に最適な、効率的かつ高精度な機械です。独自のVSCコーティング技術、立体アライメントシステム、最小限の介入設計により、CANON MPA-500FABは、高品質の半導体デバイスを製造することができる高度で信頼性の高いマスクアライナーです。