中古 CANON MPA 500 Fab #293768785 を販売中

CANON MPA 500 Fabは、超微細紫外線と可視光線を使用してミクロンレベルのデバイス構造を作成する高精度の自動マスクアライナーです。これは、今日の業界標準を満たすように設計されたクラスで最も先進的なマスクアライナーであり、ユーザーがさまざまな基板上で結合、整列、パターンデバイスをぶつけることができる幅広い機能とオプションを提供しています。CANON MPA 500FABは、マスクパターンを基板に正確に適用するために組み込みアライメント装置を使用して、最大直径8インチのウェーハを処理します。内蔵のステッパーは最大1000 nmの解像度と2 nmのアライメント精度を提供し、ハイエンドの6Gレーザーは優れた精度と非常に広い視野を提供します。さらに便利なことに、ローダーとアンローダーは最小限の労力で最大200ウェーハを処理できます。MPA-500FABは、包括的なシステムとプロセス制御オプションを提供しています。オンボードコンピュータにより、ウェーハの自動セットアップとプロセス結果のリアルタイム監視が可能です。また、安全で効率的な製造プロセスを保証するEHSプログラムと、簡単なプログラミングとデータ表示のためのグラフィカルユーザーインターフェイスも含まれています。MPA 500 Fabの統合された設計は有効な光学単位および高度の熱制御機械のおかげで優秀な性能を、提供します。高度な熱制御ツールは、処理条件を正確に制御することができ、各プロセスステップが正確な精度で完了することを保証します。さらに、レーザーは精密ミラーから反射し、ウェーハ表面全体に均一な照明と優れたビーム位置を提供します。MPA 500-FABは、多種多様なアプリケーションを提供する特殊な機能を備えています。これらには、ユーザーが長方形でないパターンに整列できるように修正されたプロセスオプションと、ユーザーが光強度、パルス幅、パルス持続時間、露光時間を簡単に調整できる機能が含まれます。全体として、CANON MPA 500-FABは、ウェーハパターニングおよびアライメント用途において優れた性能と精度を提供します。高精度な位置決め、優れた熱制御アセット、ハイエンド光学を備えたこのマシンは、比類のない汎用性を備えた高品質のマスクアライナーを探している生産施設に最適です。