中古 CANON MPA 3000W #9117370 を販売中
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ID: 9117370
System
Vacuum: -500 mm Hg
Cooling water:
1.2 ~ 5.0 kg / cm²
Flow of 50.0 l/min (at 34°)
Flow of 16.0 l/min (at 25°C)
Power supply: 200 V, 39.4 kVA, 50 Hz.
CANON MPA 3000Wは、あらゆるタイプのマスクアラインメント用に設計された完全に自動化された精密マスクアライナーです。キヤノンが開発した精密シェルフアライメントは、精密工具や精密ウエハ回路の検査・修理アライメントなど、さまざまな精密シェルフアライメント用途に使用できるように設計されています。CANON MPA-3000 Wは、8 インチLCDタッチパネルディスプレイと98点7軸ロボットマウントカメラとマスクアライニングシステムを備えています。このデバイスには、正確なマスクアライメントを実現する16メガピクセルのCCDカメラが装備されています。また、調整可能な光の発光ダイオード(LED)を搭載し、マスクアライメント時にアライメント範囲、露光時間、明るさなどの設定を調整できます。また、アライメントパラメータを微調整するための調整可能な登録マークも備えています。MPA 3000Wは、最小位置決め誤差と0。75 μ mのステップサイズで設計されているため、正確なマスクアラインメントが可能です。さらに、このデバイスのシングルポイントリニアステッピングシステムと内蔵のバックラッシュおよびカウンタ測定により、任意の位置決めヘッドのバックラッシュが低減されます。MPA-3000 Wには、正確な洗浄のためのエアジェットノズルと、アライメントプロセス中の優れたコントラストを備えています。CANON MPA 3000Wは、さまざまなタイプのマスクを迅速かつ正確に処理する複数の方法を提供するコンパクトで人間工学に基づいたデバイスです。このデバイスは、さまざまな基板サイズに対応でき、最大500x500mmのマスクサイズを提供します。また、5秒/マスクの印象的なサイクルタイムと最大8インチの基板積載面積を誇っています。CANON MPA-3000 Wは、他の機器と統合することで、より高いスループットを実現する自動運転を可能にします。最高の精度と安定性を確保するために、MPA 3000Wには1GHz Pentium-Classプロセッサが装備されており、ユーザーがマスクアライメントパラメータを迅速に最適化および微調整できる高度なソフトウェア機能を提供しています。また、レシピペン、ジョイスティック制御、グラフィックユーザーインターフェイスを備えた直感的なユーザーインターフェイスを備えているため、セットアップと使用が簡単です。MPA-3000 Wは高度で信頼性の高いマスクアライナーで、さまざまなマスクパターンや基板に精密なアライメントを提供するように設計されています。精密マスクアライメントアプリケーションに最適です。
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