中古 CANON FLAG-1500 #9161633 を販売中

CANON FLAG-1500は、金属、材料、デバイスのミクロンスケールのパターンを生成するために設計されたマスクアライナーです。広い開口部と非平面を有する基板の加工が可能で、200mmウェハには1。5 μ m以上のマスク登録精度を提供します。0。1 μ m以上のゲートアレイ技術の非接触サイドエッジアライメントとスペーサエッジアライメントの解決をサポートします。FLAG-1500は、スムーズで信頼性の高い操作を提供することに重点を置いた完全に自動化されたマスクアライナーです。EGA 5kW CANON E Seiko Shotを搭載し、金属、シリコン、ガラスマスクをエッチングできます。マスクの最大サイズは880mm x 880mmです。また、266mmレーザーウェーハアライメントシステム、自動Eビームレジストコーター、TMA （Transverse Magnetic Alignment）フレーム、およびアライメント登録用のOBIRCHエッジアライナーを備えています。このアライナーは、ウェハのアウトラインパターンを素早く正確に測定する機能など、さまざまな機能を提供します。また、大小のパターンを正確に駆動することができ、高速測定機能を提供します。さらに、CANON FLAG-1500はユーザーフレンドリーなインターフェイスを提供し、登録ポイントを自動的に保存して迅速な再キャリブレーションを保証します。また、作品の平坦度を3次元で正確に測定することもできます。FLAG-1500はSEMIおよびセリウムのような国際規格に合致します。また、ダストフィルトレーションシステムや消火システムなど、高度な安全性と環境機能を備えています。厳しい産業環境での運用が可能で、最大12時間の連続運転が可能です。CANON FLAG-1500は、効率的で信頼性の高いマスクアライナーであり、幅広い機能を提供します。さまざまな安全性と環境機能、ユーザーフレンドリーなインターフェース、高速な再キャリブレーション機能を備えています。多種多様なウエハや素材の取り扱いに最適で、1。5 μ m以上のパターンと正確なアライメントを提供します。