中古 CANON 501 F #68942 を販売中

CANON 501 Fは、集積回路の製造に使用される自動マスクアライナーで、フォトマスクのパターンとフォトレジストコーティングされたウエハなどの基板のパターンを正確に揃えるために使用されます。アライナーは、数ナノメートルの精度でマスクを正しく配置することができます。501 Fは、マスクとウェーハをX軸とY軸の両方に配置することができます。真空フレームは、動きを追跡するエンコーダの助けを借りて、X方向とY方向に移動することができる3つのマイクロモーターによって翻訳されるので、ウェーハを所定の位置に保持します。3つのモータは、異なるアライメント手順とさまざまな動作範囲のために外部制御することができます。マスクとウェーハを正確に揃えるために、レーザーを使用して基板表面のマーカーからの距離を計算します。レーザーは基板上に置かれ、マスクに投影されて距離を測定し、アライメント値を計算します。CANON 501 Fのもう1つの特徴は、フィードバックプロセスを使用して正確なアライメント調整を行うことです。501 Fは、マスクとウェーハを粉塵やその他の汚染物質から保護するための空気圧シャッターを内蔵しています。空気のシャッターはフルオートであり、急速に開閉することができます。機械はまたアライメントの質を点検するのに使用される紫外線照明ランプが装備されています。オンボードモニターにより、オペレータはアライメント結果を確認できます。CANON 501 Fには、マスクとウェーハの高速アライメントを可能にする2次元モータ制御装置が搭載されています。モーター制御システムは正確で、応答時間は速いです。また、密接なアライメント公差の位置決め再現性も実現しています。このマシンは、プロセス全体にわたってアライメント精度を確保するために、連続的なアライメントを実行することもできます。501 Fは、金属層、ポリシリコン層、およびICで使用されるその他の層のマスクのアライメントに使用されます。機械はアプリケーションプロセッサ、メモリチップおよび表示コントローラーのような破片の製作で、使用されます。