中古 BSL / BETA SQUARED LITHOGRAPHY PE 600 #9157842 を販売中

BSL/BETA SQUARED LITHOGRAPHY PE 600は、高精度リソグラフィ用に設計された最先端のマスクアライナー装置です。このシステムは、大型の真空チャンバーと圧力チャンバーを組み合わせて、4軸ステージの周りに構築されています。高解像度デジタルイメージングユニットは、30メガピクセルの産業用CCDカメラと精密レンズを組み合わせ、高レベルのアライメント精度を実現しています。このマシンは、30 nm （3シグマ）の精度で0。1ミクロンまでの特徴を整列および解決することができます。さらに、BSL PE 600には、0.5C内まで温度を制御できる静電チャックと真空チャックが加熱されているため、エッチングや露光時間に敏感なプロセスに最適です。さらに、アセットには自動的にアライメントとイメージングが可能なソフトウェアが装備されており、ユーザーは正確で信頼性の高い結果を得ることができます。BETA SQUARED LITHOGRAPHY PE 600は、半導体製造の要件を満たすように設計された高度なマスクアライナーです。汎用性の高い設計により、従来の接触印刷、近接印刷、その他様々なパターン転送など、露出に幅広い選択肢があります。さらに、高度なイメージングとアライメントモデルにより、複雑な構造の高解像度パターニングが可能です。最後に、装置の高精度ステージおよび温度制御機能により、エッチングおよび堆積プロセスに最適です。高精度で高度な機能を備えたPE 600は、洗練されたマスクアライナーアプリケーションに最適です。