中古 BSL / BETA SQUARED LITHOGRAPHY Micralign 542HT #9238460 を販売中

BSL/BETA SQUARED LITHOGRAPHY Micralign 542HTは、集積回路、センサ、およびその他のマイクロエレクトロニクス部品の接触および近接リソグラフィ用に設計されたマスクアライナーです。これは、ユーザーがシリコン基板にフォトマスクを正確に揃えて露出させることを可能にする自動マイクロリソグラフィ装置です。システムは、マシンフレーム、マスクアライナーヘッド、真空チャックで構成されています。機械フレームは強い合金から組み立てられ、単位部品のための堅いサポートを提供します。マスクアライナーヘッドの位置を調整し、マスクを位置に回転させ、正確で再現可能な位置決めを提供するために使用される空気圧作動式傾斜アームが含まれています。それはまたフレームがレベルおよび安定していることを保障する調節可能なフィートが装備されています。マスクアライナーヘッドは、基板への露出のためのフォトマスクを保持するように設計されています。X軸とY軸に沿って最大200nmの精度と最大20mm/秒の速度でヘッドを移動する電動X-Yステージによって駆動されます。マスクアライナーヘッドには、フォトマスクを正確に配置する感圧赤外線（IR）レチキュールが装備されています。ヘッドには、光軸の焦点距離を調整できるデュアルフォーカスマシンも内蔵しています。真空チャックは、基板のピックアップ、アライメント、および放出を担当します。単軸回転ステージと真空チャック制御モジュールで構成されています。回転ステージはステッピングモータによって駆動され、基板の正確かつ再現性のある位置決めが可能です。真空チャック制御モジュールは、真空モードと大気圧モードを切り替えるように設計されており、基板の安全な取り付けまたは解放を提供します。このツールには、いくつかの安全センサーと緊急シャットオフスイッチが装備されています。安全センサには、ステッピングモータの過負荷を示す電流過負荷保護（COP）、マスクホルダーが始動位置から離れるタイミングを示す+/-2mmの高圧センサー、真空レベルの変動を検出する真空センサーがあります。非常停止スイッチはフレームおよびモーターに接続され、緊急の場合には機械を締めるのに使用することができます。BSL Micralign 542HTは、マイクロリソグラフィ中のスループット、品質、および安定性を向上させるように設計された高度なマスクアライナーです。信頼できるフレーム構造、正確なアライメント、自動化された制御の組み合わせにより、最も複雑な集積回路の接触および近接リソグラフィに理想的なツールとなります。