中古 BROOKS / PRI AUTOMATION 002-7391-08 #9267822 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION 002-7391-08マスクアライナーは、オプトエレクトロニクスおよび集積回路パターニング用に設計された高度なツールです。ファインラインや高精度フォトマスクへのアクセスが困難な高解像度パターンを生成することができます。マスクアライナーは、8 「x8」のプラットフォームサイズと高精度アライメントのためのステージ移動の0。5 μ mの再現性を持つコンピュータ制御X-Y-Thetaステージを備えています。デュアルソース、デュアル周波数ディープUV照明ソース、リニアシャッターは、高品質の露出制御と一貫した正確な露出パラメータを提供します。真空チャック接触設計により、様々な基材や厚さで簡単かつ簡単に基板の積み下ろしが可能です。さらに、マスクアライナーにはオートフォーカス機能とデジタルステージの位置決めシステムが搭載されており、ユーザーは目的の座標を選択することができます。インターフェイスが含まれているため、ユーザーは座標とパターンジオメトリデータを直接入力できます。さらに、ユニットは事前に定義されたアラインメントを実行するようにプログラムすることができ、マスクやステージを調整することで手動で調整することができます。レーザー干渉計とヒステリシス型の線形ステージを組み合わせた8 「x-6」 x-yラスターレーザー干渉計を使用して、正確な画像を作成できます。レーザービームの加熱システムは、より大きなミラーとともに、よりタイトなアライメントを確保し、より低いアライメントエラーを確保します。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスは、追加の言語をサポートし、ユーザーは迅速かつ簡単に高品質の結果を達成することができます。さらに、ロック可能なモニターや緊急停止など、多くの安全機能が含まれています。BROOKS 002-7391-08マスクアライナーは、正確で精密なフォトマスクパターニングとマイクロエレクトロニクス製造のための優れた選択肢です。