中古 BROOKS AUTOMATION PRE-300-CE #9409371 を販売中

BROOKS AUTOMATION PRE-300-CEは、半導体製造プロセスで使用されるマスクアライナーです。アライナーは、集積回路チップの製造のためのフォトリソグラフィを実行します。BROOKS AUTOMATION 300-SFモデルの後継モデルであり、再現性のある一貫した結果で正確なパターン転送を実現するように設計された完全に自動化されたプレアライメントされた機器です。マスクアライナーは、多軸ステッピングシステム（MASS）と光学ユニットの2つの主要コンポーネントで構成されています。MASSは、マスクをミクロン単位で正確に配置する6軸ロボットです。光学機械はマスクの照明器、軽いコンデンサー、光学レンズおよびウェーハの段階の動きで構成されます。この光学系は、最適な露出均一性を提供するように設計されており、このツールは高いレベルの臨界寸法精度を達成することができます。PRE-300-CEは6-7 cmのフィールドサイズと0。5-5ミクロンの分解能を持っています。このアセットには、露出均一性、低エネルギーバンド光学露光、および処理緯度の改善のための0。5/1。0 NA照明が搭載されています。マスク照明は365nmに最適化されており、露出制御時間を改善するために露出変調を内蔵しています。露光にはIラインランプを使用し、バイポーラ電圧変調器を使用して露光フィールド全体の露光量を最適に制御します。アライナーは、150枚のマスクを内蔵した自動バッチ処理機能を備えており、個別にプログラムして保存することができます。このモデルは、正と負の両方の露出だけでなく、ダイツダイとダイツイメージ登録をサポートしています。キャリブレーションとビームモニター機能を自動化し、マスクパターンを迅速かつ正確にウェーハにアライメントします。BROOKS AUTOMATION PRE-300-CEは、使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスで効率的な操作と使いやすさを目的に設計されています。この機器には、大容量および高スループットの本番環境に統合するための完全なツールセットが装備されています。Si、 GaAs、 InP、 SOIなど様々な基板に対応しており、幅広い半導体アプリケーションに適しています。