中古 BROOKS AUTOMATION PRE-300-CE #9256425 を販売中
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2014年にリリースされたBrooks BROOKS AUTOMATION PRE-300-CE Mask Alignerは、マスクアライナープロセスの速度と効率を向上させるために設計された完全に自動化されたマスクアライナー装置です。PRE-300-CE Mask Alignerは、研究および生産マスクアライナーアプリケーションの要求を満たすために、3つの異なる操作モードを提供します。BROOKS AUTOMATION PRE-300-CE Mask Alignerは、MEMS、 BiCMOS、オプトエレクトロニクス、マイクロ流体部品などのデバイスの生産を合理化するように設計されており、複雑な光の露出問題を解決する能力を備えています。このシステムは、真空補助静電チャックを使用してマスクを基板に取り付け、高精度のDCモーターを使用してマスク操作ステージを駆動する汎用性の高いメカニカルアライナーです。PRE-300-CEは、信頼性の高い光学系とステージのセットが装備されています。サンプルとマスクアライメントのための2つの精密調整された線形ステージと最適化されたフォーカシングステージを備えています。BROOKS AUTOMATION PRE-300-CE Mask Alignerには統合されたソフトウェアと、露出したサンプルの自動制御と後処理のために設計されたユーザーフレンドリーなインターフェイスがあります。このソフトウェアは、アライメントアライメントプロセス用のリアルタイムモニタリングユニットを備えています。PRE-300-CEマスクアライナーは、マスクと基板処理のための高度な真空機でも設計されています。BROOKS AUTOMATION PRE-300-CE Mask Alignerは、ユーザーフレンドリーなインターフェイスと汎用性の高いマスクアライナーモードのおかげで、ユーザーは迅速かつ簡単に生産要件を満たすことができます。このツールは、リソグラフィ、フォトマスキング、誘電体コーティング、大気プラズマプロセス、MEMS、 BiCMOS、オプトエレクトロニックおよびマイクロ流体部品の構築などのプロセスを支援するように設計されています。PRE-300-CEマスクアライナーは、400mmおよび45nmノードとも互換性があります。それは研究、R&Dおよび定期的な生産の組み立てのための理想的なレイアウト用具です。BROOKS AUTOMATION PRE-300-CE Mask Alignerは、最適化されたマスクと基板処理プロセス、正確で正確な露出プロセス、信頼性の高いユーザーフレンドリーなソフトウェアプロセスをユーザーに提供します。この資産は、レイアウトと生産のセットアップで既に経済的で人気のある選択肢です。PRE-300-CEマスクアライナーは、ユーザーが生産を改善し、欠陥や損失を減らすことができます。このモデルは、生産プロセスの効率を高め、サイクルタイムを短縮するのに役立ちます。
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