中古 ASYST 0FH3000-001 #9384810 を販売中

ASYST 0FH3000-001は、半導体やその他の基板への高精度フォトマスクパターン転送用に設計された最先端のマスクアライナーです。標準的なフォトマスクのサイズと互換性があり、多段式高精度アライメント装置を備えています。このシステムは、対称で独立したx-yテーブルとUVコンタクトイメージングソースで構成されています。0FH3000-001は、4段階のアライメントプロセスを使用して、非常に高精度なフォトマスクの配置を保証します。2つのセンサーを使用して、フォトマスクにマーカーを配置し、マスクを基板に正確に配置します。次に、2つの投影干渉計を使用して、フォトマスクレジスターマークを識別します。この情報は、各ダイをフィデューシャルマークに対してフォトマスク上に正確に配置するために使用されます。これにより、フォトマスクの全表面面積に対して高い配置精度が保証されます。ASYST 0FH3000-001はマルチゾーンビューも備えています。この機能により、マルチLEDまたはマルチゾーンイルミネーションをターゲットにして、マルチゾーンまたはフルサイズのフォトマスクで均一な補正を行うことができます。このツールは、干渉アライメント感度と組み合わせるゾーンイメージングシステムを使用して、フォトマスクパターンをフルチップ領域に迅速かつ正確に配置します。0FH3000-001は、ウェーハへの高精度フォトマスクパターン転送用に設計されています。高精度と信頼性を確保するために、ASYST 0FH3000-001は、高精度アクチュエータ、ゼロフォース駆動システム、高度なケム抵抗材料などの高度な光機械設計要素を備えており、サービスフリーな動作を実現しています。また、高解像度イメージングソースを搭載し、サブミクロンフォトマスクパターンの優れた性能を確保しています。要約すると、0FH3000-001は電子成長基板への高精度フォトマスクパターン転送を容易にするように設計された高度なマスクアライナーです。これは、均一な補正を確保するためにゾーンイメージングシステムと多段高精度アライメントモデルを備えています。また、ゼロフォース駆動システムや、信頼性の高い運転を可能にする先進的なケム耐性材料を搭載しています。