中古 ARGONHT ECOSPRAY MAN #9386315 を販売中
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ARGONHT ECOSPRAY MANは、先端材料のナノパターニング用に設計された特殊マスクアライナーです。それは独特な特許を取られた設計の自己一直線に並ぶ、自己指示の直接書きマスクのalignerです。ECOSPRAY MANは、正確に制御されたガスと集中したプラズマのビームを使用して、ナノスケールのレベルで材料を蒸発させて基板に転送します。ARGONHT ECOSPRAY MANの凝縮システムは、厳密に焦点を当てたエネルギーのビームが選択した材料を蒸発させるプロセスの環境を設定します。内蔵のコンデンサーは、材料が基板上に均等に広がることを保証し、非常に均一で明確なレイアウトになります。マスクアライナーのダイレクトライトアプローチにより、幅広い素材や基板にパターンを正確に配置できます。ECOSPRAY MANでは、アライメント精度を向上させ、ナノメートル範囲の解像度で複数のパターンを一度に配置することができます。ARGONHT ECOSPRAY MANには、厚さを決定し、温度、圧力、湿度などの変数を制御し、表面接続を監視し、デバイスの精度と有効性を確保するためのさまざまなテストを実施するための分析機能と自動化されたプロセスが装備されています。さらに、アライナーにはデータロギングとプロセス制御機能も内蔵されています。ECOSPRAY MANの最適化されたエンジニアリングにより、フル・ナノサイクルに必要な時間を90%削減できます。さらに、マスクアライナーは、その動作のエネルギー要件に関しても非常に効率的であり、他の従来のシステムよりも最大14倍少ないエネルギーを消費します。要約すると、ARGONHT ECOSPRAY MANは汎用性が高く、効率的で信頼性の高いマスクアライナーであり、ナノメートル分解能で先端材料を粒子レベルで製造することができます。これは、材料や基板の広い範囲にわたるナノパタニングに最適なツールであり、精度の向上、サイクルタイムの短縮、およびエネルギー消費の削減でパターンの正確な配置を容易にします。
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