中古 ADTEC ACP 630A #293598502 を販売中
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ADTEC ACP 630A Mask Alignerは、半導体産業に不可欠なツールであり、マイクロチップの製造パターンを正確に露出するために、フォトマスクをウェーハに合わせるために使用されます。2軸アライナー、ステージコントローラ、照明システムで構成されています。アライメント処理は、ステージコントローラに空白の半導体ウェーハを配置することから始まり、正確な水平および垂直運動を可能にします。通常、石英で作られ、光感受性材料でコーティングされたフォトマスクをウェーハ上に配置する場合、正確かつ正確に整列する必要があります。これを実現するために2軸アライナーを使用し、動的アライメントを提供するリニアおよび回転モータで構成されています。照明システムは、UVランプとストッププリズムの2つのコンポーネントで構成されています。UVランプは紫外線を供給する責任があり、フォトマスクをウェーハに露出させることができます。フォトマスク全体に光を均等に分散させるビームスプレッダーを備えています。ストッププリズムは、ウェーハ上のマークポイントに焦点を正確に合わせる赤外線ビームを作成するために使用されます。これにより、マスク整列プロセスの精度がさらに向上します。ACP 630Aは、+/-2 μ mの精度で整列できるオールインワンマスクアライナーです。堅牢な設計で構築されているため、産業用途や24時間365日の運用に適しています。また、フォトマスクとウェーハをさらに整列させ、不正確さを最小限に抑え、プロセスの効率を高める高解像度カメラを搭載しています。
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