中古 ABM ABM/8/500/NUV/DCCD/M #293797160 を販売中
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ID: 293797160
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2011
Mask aligner, 8"
NUV / DUV Wavelength
Uniform beam size: 8"
Exposure light source for G-Line, H-Line, I-Line wavelength
Single / Split-field dual CCD Camera alignment system
Single / Split-field microscope alignment system
Double side exposure system
Square area:
< +3% over, 8"
< ±1% over, 4"
< +2% over, 6"
Printing resolution:
<0.5 Micron for vacuum / Hard contact (NUV Exposure)
<0.8 Micron for soft contact
<1 Micron for 50 Micron proximity gap
<2 Micron for 100 micron proximity gap
Alignment accuracy: ± 0.5 micron
500 W for Light source (NUV), 8":
365 nm Output intensity: 18-20 mW/cm²
400 nm Output intensity: 35-40 mW/cm²
436 nm Output intensity: 8-10 mW/cm²
2011 vintage.
ABM ABM/8/500/NUV/DCCD/Mは、マイクロエレクトロニクスや半導体製造における高精度フォトリソグラフィープロセス用に設計された高度なマスクアライナーです。この最先端の機器は、精密アライメント機能、高度な露光機能、革新的な技術を組み合わせて、最新のナノテクノロジーのアプリケーションの要求に応えます。汎用性の高い仕様と優れた性能を備えたABM/8/500/NUV/DCCD/Mマスクアライナーは、極めて精度と一貫性を備えた基板上の複雑なパターンを生成するための包括的なソリューションを提供します。マスクアライナーの主な特徴ABM/8/500/NUV/DCCD/M、 8インチのマスクサイズ機能で、ユーザーはより大きな基板を使用して作業し、効率を上げて複雑なパターンを作成することができます。この拡張容量は、スループットと歩留まりが重要な考慮事項である大量生産環境にとって特に有益です。また、500W NUV (Near Utraviolet)光源を搭載しているため、基板表面全体に高い分解能と優れた均一性を有するフォトレジスト材料の迅速な露光が可能です。洗練されたDCCD (Digital Color Compensation Device)技術ABM/8/500/NUV/DCCD/M組み込んだ高度なアライメントユニットは、マスクアライナーの特徴の1つです。この独自の機能により、アライメント処理中に発生する可能性のあるカラーベースのバリエーションを補正することで、アライメント精度を向上させ、マスクパターンを基板に正確にオーバーレイさせることができます。DCCD技術は、アライメントエラーを効果的に最小限に抑え、歩留まり率を向上させ、優れた精度と再現性を要求するアプリケーションに最適です。さらに、マスクアライナーABM/8/500/NUV/DCCD/Mは、アライメントと露出プロセスのリアルタイム監視と検査を提供する統合された顕微鏡ツールが装備されています。高解像度のイメージング機能により、オペレータはアライメント品質を検証し、露出設定を最適化し、問題を迅速にトラブルシューティングできるため、プロセス制御と生産性が向上します。この顕微鏡アセットをマスクアライナーソフトウェアとシームレスに統合して、自動化とデータ分析を強化することで、ユーザーはワークフローを合理化し、手動による介入を最小限に抑えて一貫した結果を得ることができます。マスクアライナーABM/8/500/NUV/DCCD/M、直感的なコントロールとカスタマイズ可能な設定を備えたユーザーフレンドリーなインターフェイスを備えているため、初心者ユーザーと経験豊富な専門家の両方にアクセスできます。このモデルは、さまざまな基材や加工要件に対応するために、近接、ソフトコンタクト、ハードコンタクトなど、さまざまな露出モードを提供します。ユーザーは、パターン転送から薄膜蒸着まで、さまざまなリソグラフィ用途に最適な結果を得るために、強度、持続時間、アライメント戦略などの露出パラメータを設定できます。さらに、ABM/8/500/NUV/DCCD/Mマスクアライナーは、長期的なパフォーマンスと最小限のダウンタイムを確保するために、堅牢な構造と信頼性の高いコンポーネントで設計されています。この装置には、インターロック、アラーム、緊急停止メカニズムなどの高度な安全機能が組み込まれており、オペレータを保護し、運転中の潜在的な危険を防ぎます。さらに、マスクアライナーは標準手順を使用して簡単に維持および校正することができ、半導体製造設備の全体的な信頼性と費用対効果を高めます。全体として、ABM/8/500/NUV/DCCD/Mマスクアライナーは、半導体産業における高精度フォトリソグラフィーアプリケーションのための最先端のソリューションです。高度な機能、汎用性、ユーザーフレンドリーな設計により、優れた精度と再現性で基板上の複雑なパターンを生成するための比類のない性能と効率を提供します。研究開発や大量生産のいずれにおいても、ABM/8/500/NUV/DCCD/Mマスクアライナーは、ユーザーが優れた成果を達成し、マイクロエレクトロニクスやナノテクノロジーの革新を促進するための貴重なツールです。
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