中古 ABM 6/350/NUV/DCCD/M #293778198 を販売中

ABM 6/350/NUV/DCCD/Mは、微細加工プロセスに使用される最先端のマスクアライナーです。このアライナーは、2マスクと4マスクの両方のプロセスに適しており、6軸の動き精度で高解像度と高精度のアライメントを提供します。ABM 6/350/NUV/DCCD/Mは、サブミクロン精度の回折制限パターンを生成するように設計されています。高度で高精度な光学系を備え、正確なアライメントを実現し、スループットと均一性を最適化するように設計されています。マスクアライナーは、自動キャリブレーションされたシングルポイントアライメント装置を備えており、手動で焦点を合わせる光学系の必要性を排除します。これにより、長い手動校正手順を必要とせずに、迅速かつ簡単にシステムをセットアップできます。ABM 6/350/NUV/DCCD/Mは、正確なフィーチャーサイズ制御のためのプログラム可能な絞りダイヤフラムと、正確なフィーチャ測定のための高解像度自動光学顕微鏡コントロールを備えています。ABM 6/350/NUV/DCCD/Mは、高速マスクアライメントのための6-MHzスキャンレートを備えており、高エネルギーおよび低エネルギー露出プロセスの両方を実行するように設計されています。また、可変レーザーオンタイム、ショートパルス、露出スワージ調整が可能で、各フィーチャーの露出パラメータを最適化できます。このマスクアライナーには、ウェハチャックヒーターと温度制御ユニットが装備されており、正確な温度データの入力と監視が可能です。ABM 6/350/NUV/DCCD/Mに搭載されたNUV （Near Ultra Violet）ソースは、ミクロン/ボルト技術に最適な照明波長を生成します。DCCD （Dynamic Coherent Contrast Detection）マシンは、正確なアライメントと倍率制御により、露出の均一性を向上させます。ABM 6/350/NUV/DCCD/Mは、ハイエンドのフォトリソグラフィ研究およびアプリケーション向けに設計されています。これにより、ユーザーはより高い解像度のパターンを生成し、従来のアライナーよりも高速かつ正確に複雑なレイヤーを処理することができます。ABM 6/350/NUV/DCCD/Mは工業規格に準拠しており、工業生産に最適です。超精密なアライメントツールとスマートオプティクスにより、このマスクアライナーはハイエンドの微細加工結果を達成するのに理想的です。