中古 GIGAPHOTON / KOMATSU G20K2 #293653984 を販売中

GIGAPHOTON/KOMATSU G20K2ウェーハステッパーは、半導体業界で使用される高精度のリソグラフィ装置で、ウェーハ上に精密なパターンを作成します。パターン化された紫外線を利用して、ウェーハ表面に精密な形状のマスクを作成します。KOMATSU G20K2は、エアシステム、温度制御ユニット、真空機、電源ツールなど、最大20mmの精密な画像を作成できる高度なインフラを備えています。GIGAPHOTON G20K2には、リソグラフィ資産に対するウェーハの正確なアライメントを確保するために、センタリング機構を使用した高解像度および精密ウェーハステージが装備されています。これは、ウェーハ表面の均一なパターンを確保し、高い収率を維持するのに役立ちます。また、オプションのウェハホルダーで複数のウェーハをロードでき、操作が容易です。G20K2は、写真や電子ビームリソグラフィなど、さまざまな露光技術をサポートすることができます。写真技術は、従来の紫外線を使用し、5ナノメートルから1マイクロメートルのサイズ範囲で使用します。電子ビームリソグラフィは、1〜4ナノメートルの範囲の電子ビームを使用して、わずかに精度が高い。GIGAPHOTON/KOMATSU G20K2は、さまざまなウエハ径に対応し、最大450mmの基板に対応しています。さらに、このモデルは高度に自動化されており、自動レシピの再読み込みや自動マスクアライナーのキャリブレーションなどの機能があります。これは、ヒューマンエラーを減らし、一貫した結果を保証するのに役立ちます。最後に、コマツG20K2には、リソグラフィーチャンバーの迅速かつ簡単なクリーニング、自動システム修理、遠隔監視オプションなど、さまざまな機器メンテナンスオプションが装備されています。これらの機能により、ダウンタイムを最小限に抑え、効率的な運用を実現します。全体として、GIGAPHOTON G20K2は、幅広い技術と直径でウェーハ上の正確なパターンを生成することができる信頼性の高い正確なウェーハステッピングユニットです。洗練された設計とオートメーション機能により、一貫性を確保し、ダウンタイムを削減し、あらゆる半導体生産ラインに最適です。