中古 CYMER ELS 6400 #9410300 を販売中

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製造業者
CYMER
モデル
ELS 6400
ID: 9410300
Laser High Voltage Power Supply (HVPS) Commutator AC Distribution module Line Narrowing Module (LNM) Compression head Chamber Wavelength Stabilization Module (WSM) Gas module Cooling module.
CYMER ELS 6400は、エレクトロニクス業界の高度な半導体加工アプリケーション向けに設計された最先端のエキシマレーザーです。これは、セラミックロングパルス技術に基づいており、レーザーパルスが2〜4ms持続することを意味し、より正確で制御されたエッチングを可能にします。CYMER ELS-6400は、高度な半導体技術に適した幅広い機能と機能を提供します。高双対462nm波長、短いパルス持続時間(2-4ms)、高速シャッターを備えており、高速応答と反復可能な結果を提供します。パルス幅、振幅、電力は、お客様のニーズに応じて調整することができます。このレーザーは、高出力、低ノイズ、高感度モードで動作し、優れたフォトリソグラフィ性能を発揮します。ガラス、シリコン、金属、セラミックスなど、幅広い厚さと作業範囲で様々な材料に対応できます。様々なフォトマスクにも対応しており、様々な用途に適しています。さらに、ELS 6400には多数のプロセス制御オプションが付属しています。これには、モニター/コントローラモジュール、タワーマウント、オーブン、およびさまざまなリソグラフィおよびエッチング構成が含まれます。このプロセス制御は、半導体製造において最大限の性能と精度を確保するように設計されています。ELS-6400は、高度な半導体加工に適した、信頼性の高い強力なシステムです。これは、エレクトロニクス業界で利用可能な最も先進的なレーザーの1つにする機能と機能の広い範囲を提供しています。システムの柔軟性と複雑な機能を実行する能力は、最も高度な要件を持つ半導体製造設備に最適です。
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